BOE⋅티안마⋅비전옥스 등 고객사 다양화

한화그룹의 2차전지⋅디스플레이⋅솔라셀 장비 부문인 (주)한화/모멘텀(이하 모멘텀 부문)이 지난해 중국 향 IR(적외선) 오븐 수주전에서 선전한 것으로 나타났다. 모멘텀 부문이 공급하는 오븐은 디스플레이 공정에서 기판을 공정⋅가열⋅소성하는데 쓰이는 설비로, OLED용 오븐 시장만 놓고 보면 모멘텀 부문이 점유율 1위다.

(주)한화/모멘텀의 IR 오븐. /사진=(주)한화
(주)한화/모멘텀의 IR 오븐. /사진=(주)한화

 

모멘텀 부문, 작년에만 오븐 8건 수주

 

모멘텀 부문은 지난해 중국에서 총 12건의 프로젝트를 수주했으며, IR 오븐과 관련한 건수는 8건으로 집계됐다. 특히 ▲광저우에 위치한 CSOT의 첫 옥사이드 TFT(박막트랜지스터) LCD 생산라인 ▲BOE가 베이징에 짓고 있는 LTPS/LTPO LCD 라인 ▲허페이 비전옥스의 6세대 OLED 등 고객사와 생산품목을 가리지 않고 다양한 프로젝트를 수주했다. 

오븐은 디스플레이 생산 과정에서 고열을 이용해 각종 유기물을 굳히거나, 반대로 녹이는데 사용한다. 플렉서블 OLED 기판을 만들기 위한 PI(폴리이미드) 큐어링용 오븐이 대표적으로 유기물을 굳히는 장비다. 유리기판 위에 액체 형태의 PI 바니시를 바르고, 고열을 가하면 얇은 PI 막이 형성된다. 이 위에 OLED를 형성한 뒤 유리기판을 떼어 내면 플렉서블 OLED가 완성된다. 

모멘텀 부문이 지난해 2월 샤먼 티안마에 공급한 장비가 이 PI 큐어링 장비다. 국내 장비업체인 비아트론⋅테라세미콘(원익IPS에 합병)도 관련 장비를 공급하고 있으나, 중국 시장에서는 모멘텀 부문의 수주가 두드러진다. 

아래는 모멘텀 부문이 지난해 중국 시장에서 수주한 프로젝트 목록이다. 칭다오항공우주반도체연구소로 공급하는 반도체 실장 장비(automatic placement machine)는 한화정밀기계가 수주한 것으로 추정된다.

 

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