인텔은 15일 네델란드 델프트 공과대학교(Delft University of Technology)와 네덜란드 국영 응용 과학연구소(TNO) 연구진으로 구성된 첨단 퀀텀 컴퓨팅 연구소인 큐텍(Qutech)과 함께 미 오리건주 힐스보로 소재 인텔 D1 제조 공장에서 세계 최초로 대규모 실리콘 큐비트를 제작하는데 성공했다고 밝혔다.

이를 통해 수율 95% 이상으로 단일 웨이퍼에서 여러 개의 실리콘 스핀 큐비트로 1만개 이상의 어레이를 제작할 수 있다. 이번 성과는 일반적으로 학계 및 연구소에서 활용하는 공정 대비 매우 높은 큐비트 수와 수율을 제공한다.

이번 연구 결과는 국제 학술지 네이처 일렉트로닉스(Nature Electronics)에 게재됐으며, 피어 리뷰를 통해 300밀리미터(mm) 실리콘에서 큐빗을 성공적으로 제작할 수 있다는 것을 입증했다. 이번에 발표한 신규 공정은 전광학 리소그래피를 포함한 첨단 트랜지스터 제작 기술을 사용해 보완 금속 산화물 반도체(CMOS) 칩을 생산하는데 사용된 것과 동일한 장비로 실리콘 스핀 큐비트를 생산한다. 이번 연구는 양자 반도체를 확대하기 위한 중요한 발표로, 큐비트를 결국 반도체 산업 제조 시설에서 기존 칩과 함께 생산이 가능하다는 것을 보여준다.