중국 BOE가 청두 ‘B7’에 구축중인 6세대(1500mm X 1850mm) 유기발광다이오드(OLED) 2기 라인 발주가 한창이다. BOE는 지난해 발주한 1기 라인(월 1만5000장분)의 설비 셋업 상황을 봐가면서 속도조절을 할 것으로 예상됐으나 예정대로 발주가 나오고 있다.

당장 수율이 나오지 않더라도 우선 라인을 구축해놓고 수율은 차후에 잡아 나가겠다는 전형적인 중국식 장치산업 논리가 이번에도 통하고 있다.

BOE의 디스플레이 생산라인. (사진=BOE)

19일 중국국제초표망에 따르면 지난달 BOE는 B7 2기 라인에 들어갈 봉지 장비를 발주했다. 1기 라인과 마찬가지로 2기 라인도 ‘바이텍스’ 방식의 봉지 라인을 구축할 전망이다. 바이텍스 봉지는 유기물과 무기물층을 겹겹이 쌓아 산소⋅수분으로부터 OLED를 보호해준다.

유기물층 형성에는 주로 아크릴계 모노머가 사용된다. 질소(N₂) 환경에서 잉크젯프린터를 이용해 적층해준다. 이 장비는 1기 라인과 마찬가지로 미국 카티바가 공급한다.

무기물층 형성에는 고순도 알루미나(Al₂O₃)가 쓰인다. 플라즈마기상화학증착장비(PECVD)를 이용하는데 이 역시 1기 라인 공급사와 동일한 미국 어플라이드머티리얼즈가 선정됐다. OLED 봉지용 PECVD는 국내 장비업체인 원익IPS 역시 양산 공급을 타진하고 있으나 아직 실제 공급에 성공하지는 못했다.

카티바-어플라이드머티리얼즈가 쌍으로 들어가는 OLED 봉지 장비는 삼성디스플레이 탕정 A3 라인에도 동일하게 구축돼 있다. BOE는 B7 구축 초기부터 삼성디스플레이 A3 라인 공급사를 카피하다시피 하고 있다.

이외에도 건식식각장비(드라이 에처) 공급사로는 일본 도쿄일렉트론이, 노광장비 공급사는 일본 니콘이 선정됐다.

아래 표는 3월에 나온 BOE 청두 B7 라인 장비 발주 현황이다.

(자료=중국국제초표망)

한편 BOE는 B7 1기 라인 양산 가동 목표를 내년 1분기로 잡았다. 최근 발주가 나가고 있는 2기 라인의 양산 시점은 내년 3분기다. 2기 라인 발주가 마무리되면, 3분기부터는 3기 라인에 대한 발주가 나올 예정이다.

1~3기 라인 각각 6세대 기판투입 기준 월 1만5000장씩으로, 총 생산능력은 월 4만5000장이다. BOE가 B7과 별개로 몐양 지역에 짓고 있는 B11은 내년 4분기부터 발주가 나올 전망이다. B11 1기라인 양산가동 목표는 2019년 4분기다.