중국 베이징에 본사를 둔 반도체 장비 업체인 노라(NAURA, 北方华创)가 9년 간의 기술 개발 끝에 에처, 스퍼터링, 저압화학증기증착(LPCVD), 세정장비, 원자층증착장비(ALD) 등 반도체 장비를 90·55·40·28nm 공정용으로 개발 완료하고 상용화까지 실현했다고 밝혔다.

 

이중 에처 등 세 가지 종류의 반도체 장비는 14nm 공정 개발 테스트를 진행해 중국 이외 해외 국가의 장비와 어깨를 나란히 했다고 회사는 강조했다. 중국 내에서 12인치 반도체 장비의 대량 생산을 실현한 사례가 없어 향후 주요 수익원으로 작용할 전망이라고 회사는 내다봤다. 동시에 LED, 태양광 등 광범위한 영역에 납품할 수 있다. 회사는 최근 몇년간 매출이 40%씩 성장해 왔다.

 

중국의 주요 반도체 장비 업체 노라는 부품 업체의 가장 큰 수요처이기도 하다. 상하위 협력업체와 협력 기회가 많아 상당한 비즈니스를 일으키고 있다.

 

 

▲중국 반도체 장비 업체 노라는 14~28nm 장비 개발을 완료하고 상용화 단계에 접어들었다고 밝혔다. /노라 제공

 

 

노라 장비의 수요처인 중국 SMIC는 노라 장비의 검증 기업으로서 역할을 하고 있다. 양측이 긴밀히 협력해 장비 인증 작업을 진행하고 있다. SMIC의 28nm 공정 개발 초기에 독자적인 공정 특이점에 맞춰 일시적으로 열처리 장비가 필요했을 때 해외에 적합한 장비가 없자 양측 협의하에 노라가 장비를 개발해 공급했다. 이러한 협력 교류를 통해 1년도 채 안돼 장비를 개발해 공정 테스트를 진행했고 관련 공정 개발 수준을 높일 수 있었다. 이로써 SMIC의 28nm 반도체 생산라인에 배치, 향후 대량 납품을 실현했다.

 

이외에도 부품 기업과 협력을 통해 가성비가 높은 장비를 공급하고 있으며 LED와 태양광 등 영역에서 수입 장비를 대체하고 있다. 이를 통해 중국 국내외에서 에처와 스퍼터링 장비, 디퓨저 장비 등에서 시장 점유율 1위를 달성하고 미국과 인도, 대만 등지로 활발히 수출하고 있다.


 

저작권자 © KIPOST(키포스트) 무단전재 및 재배포 금지