중국 반도체 장비 기업이 여러 주요 장비의 국산화를 실현하고 있다고 발표했다. 

중국 언론 지웨이왕에 따르면 중국 장비 기업 CETC(China Electronics Technology Group Corporation, 中国电子科技集团)가 베이징 이좡(亦庄)에서 혁신발표회에서 자사 '이온주입기', '화학기계적연마(CMP) 장비', '웻(WET) 공정 장비' 등 반도체 장비 국산화 성과를 공개했다. 

이날 CETC는 반도체 전공정 핵심 장비 중 하나인 이온주입기의 국산화를 완료했으며, 칩 제조 기업에 이온주입기 셋트 솔루션을 공급했다고 설명했다. 이온주입기는 반도체 리소그래피 장비 다음으로 난이도가 높다고 꼽히는 장비라고 중국 언론은 전했다. 

또 CETC는 이 자리에서 CMP 장비도 국산화했다고 발표했다. 역시 반도체 제조의 핵심 장비 중 하나로서 CMP 장비는 구리 연결 공정에 있어 없어선 안되는 장비다. 

CETC는 특히 CMP 장비를 이미 SMIC, 화훙그레이스, TSMC, UMC 등 기업에 대형 기업에 공급했다고 부연했다. SMIC로부터는 유일하게 치환율 100%인 중국산 장비 공급업체라는 칭호도 받았다고 전했다. 

중국 언론 중신왕에 따르면 CETC의 8인치 CMP 장비의 시장 점유율은 70%에 이른다. 12인치 CMP는 고객 검증 단계이며 성능 지표가 우수한 상황이다. 

CETC의 웻 공정 장비도 이미 8인치 반도체 에피택셜 가공 및 칩 제조 영역에 진출했다.