중국 재료 기업이 고급형 포토레지스트 개발에 돌입했다고 밝혔다. 

중국 재료 및 부품 기업 징루이(晶瑞)가 KrF 포토레지스트 테스트에 돌입한 동시에 ArF 포토레지스트 연구개발을 시작했다고 선언했다. 

19일 중국 언론 커촹반르바오에 따르면 징루이의 천왕펑(陈万鹏) 재무총괄은 "과산화수소수와 황산의 양산, 그리고 KrF 포토레지스트의 시생산을 시작했다"며 "반도체 재료 사업의 매출 비중을 늘려나갈 것"이라고 밝혔다. 

징루이는 이미 i라인 포토레지스를 양산해 중국 주요 웨이퍼 제조 기업에 공급하고 있으며, KrF 포토레지스트는 테스트 중으로 수 년 내 양산에 돌입한다.

또 ArF 하이엔드 포토레지스트 연구개발도 이미 시작했으며, 지난해 하반기 ASML의 1900Gi 리소그래피 장비를 구매, 향후 3년 간 연구에 중점을 둘 것이라고 설명했다. 

징루이는 재료 개발과 테스트를 위해 앞서 지난 1월 말 SK하이닉스로부터 ASML 리소그래피 중고 장비를 구입했다. 

2019년까지도 중국에서 g/i라인 포토레지스트 자급률은 20% 선이였으며, KrF 포토레지스트 자급률은 5% 미만이었다. 최근 대부분의 반도체 포토레지스트 재료가 수입에 의존하고 있는 실정이며 TOK, 신에츠, JSR 등 일본 기업이 대부분을 점유하고 있다. 

하지만 중국 파운드리 시장은 커지고 있다. 지난해에만 전년 대비 26% 커졌으며 내년 중국 대륙 반도체 포토레지스트 시장 규모가 55억 위안에 이르러 2019년의 두배에 달할 것이란 전망도 나온 바 있다.

천 재무총괄에 따르면 징루이의 지난해 1억7900만 위안 포토레지스트 매출 중 80~85% 매출이 반도체 기업에서 나왔다. 

징루이는 반도체 재료 사업을 확대하면서 재원파이어센(Jaewon Paiersen New Energy Technology) 지분 100%를 매입, 기존 리튬배터리 점착제 사업과 시너지를 내고 있다. 

또 연산 3만 톤 규모의 반도체용 고순도 황산 생산라인 역시 환경 영향 평가 등 단계를 마쳤다. 공장은 이미 건설됐으며 관련 장비 역시 설치, 운영되고 있다.