중국 전자 재료 및 부품 생산 기업 징루이(Jingrui)가 대리업체를 통해 한국 SK하이닉스로부터 한 대의 ASML 리소그래피 중고 장비를 구매, 입고했다. 

징루이는 앞서 지난해 9월 공시를 통해 장비 구매 사실을 알렸으며 구매 가격은 1102만5000달러(약 121억1647만 원)다. 

이어 지난 19일 공시를 통해 여러 협력업체를 거쳐 'ASML XT 1900 Gi' 리소그래피 장비를 순조롭게 반입했다고 밝혔다. 이 장비는 19일 이 회사의 쑤저우(苏州) 포토레지스트 연구개발 실험실에 자리잡았다. 

19일 중국 언론 중궈정췐바오에 따르면 이 장비는 DUV 방식 리소그래피 장비로서, 28nm 연구개발에 사용될 수 있다.

최근 리소그래피장비는 g라인(436nm), i라인(365nm),  크립톤불화(KrF, 248nm), 불화아르곤(ArF, 193nm)와 극자외선(EUV, <13.5nm)로 나뉘는데, 이번에 구매한 ASML 1900시리즈 장비는 ArF 포토레지스트 개발을 위한 것이다. 

중궈정췐바오에 따르면 징루이 측은 "회사는 이 장비를 주로 ArF 포토레지스트 연구개발과 테스트에 사용할 예정이며 이 영역에서 아직 중국 기업 공백이 있기 때문에, 이 리소그래피 장비를 통해 반도체와 재료 산업의 연구개발 플랫폼을 갖출 것"이라고 전했다. 12인치 칩 제조에 쓰일 수 있는 재료 개발에 나선다. 

징루이의 자회사인 쑤저우 루이훙(瑞红)은 중국에서 매우 일찍 포토레지스트 대량 생산을 했던 기업 중 하나다. 1993년 포토레지스트를 생산하기 시작해 약 30년 간 생산을 해왔다. 관련 연구진과 노하우를 보유했다. 

회사는 이미 KrF 포토레지스트에 대해 고객 테스트 단계이며 0.15㎛ 해상도를 실현했다.