패시브 필름 에칭 장비 등 공급

중국 언론 지웨이왕이 인용한 입찰공고 플랫폼에 따르면 중국 장비 기업 아멕(AMEC)이 화훙반도체에 12대의 에칭장비를 공급한다. 

종류별로는 패시브 필름 플라즈마 에칭 장비 3대, 산화 필름 플라즈마 에칭장비 7대, 질화규소(SiN) 플라즈마 에칭장비 2대 등이다. 

아멕의 에칭장비 사업은 고성장세를 기록하고 있다. 

아멕은 지난해 연간 실적을 발표하고 전년 대비 37% 늘어난 31억800만 위안(약 5926억 원)의 매출을 거뒀다고 밝혔다. 이중 에칭장비 매출이 20억400만 위안(약 3821억 원)으로 전체 매출의 64%를 차지했으며, 전년 대비 매출 성장률도 55에 이른다. 

 

AMEC 로고와 사옥. /AEMC 제공


 
아멕이 지난해 출하한 캐비티 수량은 491개로 전년 대비 66.4% 늘었다. 이중 에칭장비 영역에서는 CCP 에칭 장비가 298 캐비티를 출하해 전년 대비 40% 증가했고, ICP 에칭장비가 134 캐비티 출하해 전년 대비 235% 증가했다. 

아멕은 최근 ICP 에칭장비가 지난해 많은 고객들의 공정 인증을 통과해 수주를 이어갈 것이라고 밝히기도 했다. 

이 회사의 프리모 나노바(Primo nanova) ICP 에칭장비는 이미 15개 이상의 고객 생산라인에서 100여 개의 ICP 에칭 공정 검증을 받았다. 

화훙반도체는 2017년 10월 우시(无锡)에 설립됐으며, 100억 달러를 투자한 1기 프로젝트가 지난해 전면 양산에 돌입해 월 4만 장을 투입하고 있다. 


 

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