중국 반도체 장비 업체 AMEC이 투자자 교류 플랫폼에서 최근 조직을 꾸려 저압화학기상증착(LPCVD, Low-pressure CVD) 장비와 EPI 장비 개발을 시작했다고 밝혔다. 연구개발이 계획에 따라 진행되고 있으며, 회사는 적절한 시기에 인수합병 등을 통한 확장을 시도해 제품과 시장의 입지를 확대할 것이라고 전했다.

AMEC은 주로 반도체 장비 연구개발과 생산, 판매에 주력하고 있으며 주력 제품은 정전 용량 플라즈마 에칭 장비, 유도성 플라즈마 에칭 장비, 유기금속화학증착(MOCVD, metalorganic chemical vapour deposition) 장비, 휘발성유기화합물(VOC) 장비 등이다. 

플라즈마 에칭 장비는 65nm~14nm, 7nm, 5nm의 글로벌 일선 고객사 및 반도체 공정, 패키징 생산라인에 주로 적용되고 있다. 최근 이미 세계 최고 수준의 GaN 기반 LED 장비 제조업체로도 등극했다. 

AMEC은 범반도체 영역의 핵심 장비 입지를 확장하는 한편 기타 이머징 테크 영역에서 사업 기회도 노리고 있다. 반도체 영역에서는 에칭 장비 경쟁력을 높이는 동시에 박막, 검측 등 장비 영역에서 입지를 확장하고 있다. MEMS, 전력 부품, 태양광 영역의 핵심 장비 등이 그 예다. 더 나아가 이머징 테크 영역에서는 장비 및 공정 기술을 통해 부품 생산 기회도 엿보고 있으며, 반도체 생산라인 관련 시장 기회를 모색하고 있다. 

미니 LED 시장에서는 지난 6월 고성능 미니 LED 양산용 MOCVD 장비 '프리스모 유니맥스(Prismo UniMax)'를 발표했으며, 최근 고객에게 좋은 평가를 받고 있다.