ArF도 개발 리소그래피 장비 시운영 연내 완료

중국 재료 기업이 KrF 포토레지스트의 고객 납품을 앞뒀다. 

중국 언론 지웨이왕에 따르면 중국 징루이(JINGRUI)가 고급 KrF 포토레지스트 테스트를 완료하고 이미 고객 검증 단계에 들어갔다고 밝혔다. 최근 고급 ArF 포토레지스트 연구개발을 시작하고 이미 리소그래피 장비, 균질화 현상제, 주사 전자현미경, 스텝 미터 및 기타 장비의 구매도 마쳤다고 전했다. 이중 ASML 1900 Gi 리소그래피 장비는 조율 단계에 있으며 올해 연말 경 시가동을 완료할 것이라고 밝혔다. 

메이산(眉山) 자회사가 건설한 연산 1200톤 규모의 반도체 핵심 재료 공장에서는 포토레지스트 중간체 연 1000톤과 포토레지스트 연 1200톤을 생산할 수 있도록 한다. 최근 회사 내부에서 계획을 수립하고 사전 준비를 진행하고 있다.

 

징루이 사옥 이미지. /징루이 제공

 

최근 징루이는 반도체 재료 사업에서 고순도 과산화수소, 고순도 암모니아 및 고순도 황산과 같은 제품의 품질이 세미 최고 등급인 G5 수준에 도달했거나 도달할 수 있는 수준이며 금속 불순물 함량은 10ppt 미만이라고 설명했다. 

징루이는 또 회사의 전자용 황산 생산라인이 이미 올해 상반기 생산 조율을 거쳤으며 금속 불순물 함량이 10ppt 미만이라고도 전했다. 

리튬 배터리 재료 방면에서도 회사의 리튬 배터리 재료로서 NMP, SBR, CMCLi, PAA 전해액 등 주요 제품이 있다고도 부연했다. 

징루이는 반도체 산업에서 SMIC, 화훙그레이스, 창장메모리(YMTC), 허페이창신 등 기업을 고객으로 두고 있으며, 리튬 배터리 산업에서는 삼성화신, CATL, 씨나노테크놀로지(Cnano Technology), 비야디, 리선(LISHEN) 등 기업에 제품을 공급하고 있다. LED 산업에서는 싼안옵토일렉트로닉, HC세미텍(HC SEMITEK) 등을 고객사로 두고 있다. 

삼성화신은 삼성SDI와 안후이성 안칭화신그룹, 시안가오커의 합작사다. 

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