이온임플란터는 니신이온
ELA⋅노광장비도 개찰

중국 BOE가 충칭 지역에 건설하고 있는 중소형 유기발광다이오드(OLED) 생산용 증착장비(Evaporation) 공급사로 일본 캐논도키를 사실상 선정했다. BOE는 앞서 투자한 청두 B7과 몐양 B11에도 캐논도키 장비를 도입한 바 있다. 

중소형 OLED 투자에서 가장 중요한 증착장비 선정 작업이 마무리된 만큼, BOE의 세 번째 OLED 공장 건설 작업도 순조롭게 진행될 전망이다.

화웨이 메이트X. BOE가 OLED 패널을 공급했다. /사진=화웨이
화웨이 메이트X. BOE가 OLED 패널을 공급했다. /사진=화웨이

캐논도키, 증착장비 공급...이온임플란터는 니신이온 낙점

 

지난 13일 BOE는 B12용 증착장비 공급사 성능 평가 결과를 공개했다. 성능 평가는 입찰에 앞서 각 업체 장비 규격이 적합한지를 테스트하는 과정이다. BOE는 이미 지난 3분기부터 주요 장비 업체들과 성능 평가를 진행했다.

그 결과 증착장비는 캐논도키가 성능평가를 단독 통과했다. 향후 가격산정을 거쳐 2~3개월 내에 최종 낙찰된다. 

지난 2017년까지만 해도 증착장비 시장은 캐논도키의 아성에 국내 업체인 선익시스템과 일본 알박 등이 도전하는 형국이었다. 실제 우리나라와 중국에서 경쟁적으로 OLED 생산능력 투자에 나서면서 후발 증착장비 업체에도 수주 기회가 당도했다. 

캐논도키가 미처 디스플레이 업체에 공급하지 못할 만큼 증착장비 주문이 밀려들면서다. 선익시스템은 LG디스플레이에, 알박은 중국 티안마에 증착장비를 각각 양산 공급했다.

그러나 올 들어 OLED 투자 붐이 잦아들고, 캐논도키의 공급능력에 여유가 생기면서 후발주자에 돌아가던 기회가 사라졌다. 디스플레이 업체들이 가급적이면 성능이 검증된 1등 업체 제품을 도입하고 싶어하는 탓이다 이 때문에 지난해 이후 6세대(1500㎜ X 1850㎜) OLED 투자 부문에서 증착장비는 캐논도키가 독점 상태다. 

섀도마스크 증착(왼쪽)과 오픈마스크 증착(오른쪽) 비교. 마이크로미터 단위의 구멍이 뚫린 섀도마스크와 달리, 오픈마스크는 가운데 큰 구멍이 뚤려 있어 비교적 증착 난이도가 낮다.
섀도마스크 증착(왼쪽)과 오픈마스크 증착(오른쪽) 비교. 

선익시스템은 지난해부터 6세대 OLED 투자 프로젝트를 한 건도 수주하지 못했다. 알박 역시 기존 고객사인 티안마가 캐논도키를 선택하면서 버림 받은 상태다. 한 장비 업체 대표는 “캐논도키의 공급 능력이 부족하면 모르겠지만, 여유가 있는 상황에서 굳이 후발업체 장비를 도입할 이유는 없을 것”이라고 말했다.

BOE는 이온임플란터(이온주입기) 공급사로 일본 니신이온을 선정했다. 니신이온 역시 캐논도키처럼 해당 분야에 독점력을 가진 회사다. 증착장비처럼 납기가 1년 가까이로 길어 일찌감치 공급사를 선정했다. 

 

ELA는 AP시스템 확정적...노광은 캐논⋅니콘 경쟁

 

한편, BOE는 증착장비와 이온임플란터에 이어 일부 전공정 장비를 추가 개찰했다. 지난주 새로 입찰 공고가 나온 장비는 노광장비와 엑시머레이저어닐링(ELA)이다. 

노광장비의 경우, 캐논과 니콘이 시장을 양분한다. 그동안 캐논이 자회사 캐논도키 증착장비와의 묶음 판매를 통해 점유율을 높여 왔다. 그러나 최근 니콘이 터치스크린 일체형 OLED 제조에 적용할 수 있는 노광장비를 개발 완료하면서 향후 두 회사간 경쟁이 예상된다. 

캐논의 디스플레이용 노광장비 'MPAsp-H803'. /사진=캐논
캐논의 디스플레이용 노광장비 'MPAsp-H803'. /사진=캐논

시장조사업체 디스플레이서플라이체인컨설턴트(DSCC)에 따르면 10.5세대(2940㎜ X 3370㎜) LCD용 노광장비를 포함, 올해 대수 기준 점유율은 캐논과 니콘이 58%대 42%씩을 기록한다. 

ELA는 이변이 없는 한 AP시스템이 수주할 가능성이 크다. BOE는 B7 투자 이후 단 한번도 ELA 공급사를 바꾸지 않았다. 2017년까지만 해도 ELA 시장은 AP시스템과 일본 재팬스틸웍스(JSW), LG전자 소재생산기술원(PRI)이 1강 2약 체재를 이뤘다. 올 들어서는 LG디스플레이의 중소형 OLED 투자가 실종되면서 사실상 AP시스템 독점 상태다.

이 밖에 특수가스시스템과 박막봉지(TFE)용 잉크젯프린터 장비도 입찰 대상에 올랐다.

 

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