연간 240만 개 생산 가능
일본 페로텍(Ferrotec)이 중국에 투자한 웨이퍼 공장에서 8인치 웨이퍼에 이어 12인치 웨이퍼가 첫 선을 보였다.
지난 달 30일 항저우중신징위안반도체주식유한회사(杭州中芯晶圆半导体股份有限公司)가 12인치 생산라인에서 첫 12인치 실리콘 폴리시드 웨이퍼(Silicon polished wafers)를 만들었다.
회사측은 이번 12인치 웨이퍼의 순조로운 생산이 성숙한 기술을 보유한 중국 내 대규모 반도체 웨이퍼 생산 기지로 발돋움했음을 의미하는 것이라고 평가했다.
이 기지는 8인치 웨이퍼를 연간 420만 개, 12인치 웨이퍼를 연간 240만 개 생산할 수 있도록 설계됐다.
항저우중신징위안반도체주식유한회사는 일본 페로텍주식회사, 페로텍 항저우 자회사(杭州大和热磁电子有限公司), 그리고 페로텍 상하이 자회사(上海申和电子有限公司)가 공동으로 투자해 설립했다.
항저우중신징위안반도체주식유한회사의 웨이퍼 프로젝트는 쳰탕신(钱塘新)구에서 2017년 시작됐으며 2018년 2월 착공했다. 29억 위안(약 4814억 원)의 등록 자본금이 투입됐으며 13.34여 만 ㎡ 점지에, 공장 면적은 약 15만 ㎡이다.
프로젝트 총 투자액은 10억 달러(약 1조1561억 원)이며 3개의 8인치(200mm), 2개의 12인치(300mm) 반도체 웨이퍼 생산라인을 지었다.
지난해 6월 8인치 웨이퍼가 순조롭게 선보여졌으며 이어 11월 준공과 생산을 기념하는 행사가 열렸다.
이 공장은 중국 내 12인치 웨이퍼 부족 상황을 보완할 핵심 생산기지 역할을 할 수 있을 것으로 기대되고 있다.