연간 240만 개 생산 가능

일본 페로텍(Ferrotec)이 중국에 투자한 웨이퍼 공장에서 8인치 웨이퍼에 이어 12인치 웨이퍼가 첫 선을 보였다. 

지난 달 30일 항저우중신징위안반도체주식유한회사(杭州中芯晶圆半导体股份有限公司)가 12인치 생산라인에서 첫 12인치 실리콘 폴리시드 웨이퍼(Silicon polished wafers)를 만들었다. 

회사측은 이번 12인치 웨이퍼의 순조로운 생산이 성숙한 기술을 보유한 중국 내 대규모 반도체 웨이퍼 생산 기지로 발돋움했음을 의미하는 것이라고 평가했다. 

이 기지는 8인치 웨이퍼를 연간 420만 개, 12인치 웨이퍼를 연간 240만 개 생산할 수 있도록 설계됐다. 

 

지난 달 30일 항저우중신징위안반도체주식유한회사가 12인치 생산라인에서 첫 12인치 실리콘 폴리시드 웨이퍼를 만들었다. /회사 제공 

 

항저우중신징위안반도체주식유한회사는 일본 페로텍주식회사, 페로텍 항저우 자회사(杭州大和热磁电子有限公司), 그리고 페로텍 상하이 자회사(上海申和电子有限公司)가 공동으로 투자해 설립했다. 

항저우중신징위안반도체주식유한회사의 웨이퍼 프로젝트는 쳰탕신(钱塘新)구에서 2017년 시작됐으며 2018년 2월 착공했다. 29억 위안(약 4814억 원)의 등록 자본금이 투입됐으며 13.34여 만 ㎡ 점지에, 공장 면적은 약 15만 ㎡이다. 

프로젝트 총 투자액은 10억 달러(약 1조1561억 원)이며 3개의 8인치(200mm), 2개의 12인치(300mm) 반도체 웨이퍼 생산라인을 지었다. 

지난해 6월 8인치 웨이퍼가 순조롭게 선보여졌으며 이어 11월 준공과 생산을 기념하는 행사가 열렸다. 

이 공장은 중국 내 12인치 웨이퍼 부족 상황을 보완할 핵심 생산기지 역할을 할 수 있을 것으로 기대되고 있다. 

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