대만 TSMC는 애리조나 피닉스에 짓고 있는 5nm(나노미터) 파운드리 공장이 오는 6일 장비 반입식을 개최한다고 밝혔다. 이 자리에는 조 바이든 미국 대통령, 지나 레이몬도 미국 상무부장관 등 주요 인사와 TSMC 고객사⋅협력사 관계자들이 대거 참석할 예정이다. 

피닉스 공장 건설 프로젝트는 2020년 발표돼 이듬해 착공했으며, 양산은 오는 2024년으로 계획하고 있다. 첫 양산 규모는 300㎜ 웨이퍼 투입 기준 월 2만장 수준이다. 총 투자규모는 120억달러(약 15조7000억원)다. 

TSMC는 피닉스 5nm 팹 외에 3nm 팹도 추가 건설할 계획이다. 이는 TSMC 창업자인 모리스 창 전 회장이 언론 인터뷰를 통해 밝힌 내용으로, 아직 구체적인 스케줄과 투자 규모가 공개되지는 않았다. 3nm는 TSMC가 이달 중 대만 공장에서 양산에 들어가는 최첨단 노드다. 3nm 팹을 짓는다는 건 TSMC가 미국 내 공장들을 대만 내 생산라인들과 거의 동등한 수준으로 운영하겠다는 뜻이다. 

TSMC는 3nm 제품까지는 기존의 핀펫(Fin-fet) 공정을 적용하며, 2nm부터 GAA(게이트올어라운드) 기술을 적용한다. 삼성전자는 이미 3nm부터 GAA 기술을 적용해 양산하고 있다.