뮌헨, 2024년 3월 13일 /PRNewswire/ -- 반도체 제조용 열 관리 솔루션 업계 선두 기업 ERS일렉트로닉(ERS Electronic)이 600 x 600 mm까지의 웨이퍼 및 패널에 최첨단 "광열" 분리 기술을 적용한 혁신적인 루미넥스 제품 라인의 첫 번째 기계를 선보인다. 

광열 분리는 고도로 제어된 플래시 램프를 사용해 캐리어를 기판에서 분리하는 제로 스트레스 분리 방식이다. 광열 분리 공정의 핵심 컴퍼넌트는 램프의 빛 에너지를 열 에너지로 변환하는 광흡수레이어(CLAL)가 있는 유리 캐리어이며, 부드러운 분리가 가능하다. CLAL 덕분에 본드 레이어과 함께 추가적인 접착제 릴리스 레이어 코팅이 필요 없어 공정 단계와 이에 따른 복잡성 및 운영 비용을 줄여 기존 레이저 분리 작업에 비해 사용자의 소유 비용을 최대 30%까지 절감할 수 있다.

ERS의 반자동 기계는 루미넥스 제품 라인에 속한 기계 시리즈 중 첫 번째 기계이다. ERS는 300mm 웨이퍼 용 전자동 대응 장치 개발이 진전된 단계에 있으며, 2분기 말 이전에 출시된다. 동사는 종합 제품 라인의 일부로서 자동 기계에 여러 모듈식 추가 기능을 제공함으로써 제품 품질과 수율을 더욱 향상시킬 예정이다.

ERS 부사장 겸 APEqS 사업부장인 데비-클레어 산체스(Debbie-Claire Sanches)는 "광열 분리는 반도체 제조의 중요한 도약을 의미한다"면서 "우리 루미넥스 라인의 첫 번째 기계는 첨단 패키징 개발이나 신제품 도입을 진행 중인 연구개발팀에게 훌륭한 발판이며, 우리는 테스트를 위해 기업들이 자신들의 샘플을 보내도록 요청한다"고 말한다.

이 반자동 기계는 4월부터 중국 상하이와 독일에 있는 ERS 연구실에 설치되어 고객 웨이퍼와 패널 샘플을 테스트하고 시연에 사용될 예정이다.

ERS:

뮌헨 교외 저머링에 본사가 있는 ERS일렉트로닉은 50년 이상 반도체 업계에 혁신적인 열 관리 솔루션을 공급해오고 있다. 동사는 특히 분석, 매개 변수 관련 및 제조 프로빙을 위해 -65°C에서 +550°C까지의 테스트 온도에 대한 빠르고 정확한 공랭 기반 서멀 척 시스템으로 뛰어난 평판을 얻었다. 2008년 ERS는 동사의 전문성을 첨단 패키징 시장으로 확장했다. 현재 전세계 대부분의 반도체 제조업체와 OSAT의 생산 공장에서 동사의 완전 자동 및 수동 분리와 워피지 조정 시스템을 볼 수 있다. 동사는 팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징 제조 프로세스에서 발생하는 복잡한 워피지 문제를 해결하는 능력을 통해 업계에서 폭넓은 인정을 받아 왔다.

사진 - https://mma.prnasia.com/media2/2361259/Luminex_Photothermal.jpg?p=medium600
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