매사추세츠주 베벌리, 2024년 1월 22일 /PRNewswire/ -- 반도체 업계를 위한 이온주입 공정 솔루션을 지원하는 선도적인 공급업체인 Axcelis Technologies, Inc.(나스닥: ACLS)는 세미콘 코리아 2024에서 혁신적인 Purion™ 이온주입 공정 플랫폼을 전시할 예정이라고 오늘 발표했습니다. 이 행사는 대한민국 서울의 코엑스 센터에서 1월 31일부터 2월 2일까지 개최됩니다. Axcelis는 D712번 부스에 위치할 예정입니다. 반도체 제조사들은 상당한 기술 및 제조상의 이점을 제공하는 혁신적인 이온주입 솔루션에 대해 직접 알아볼 수 있도록 Axcelis 전시 부스를 방문할 수 있습니다. 이 행사에서 소개되는 제품은 다음과 같습니다.

 

  • Purion H™ 시리즈 - Purion H5™ 및 Purion Dragon™이 포함되며, 이 두 가지 모두 고전류 주입을 위한 포괄적인 솔루션을 제공하도록 설계되어 있습니다.
  • Purion H200 - Axcelis의 최첨단 단일 웨이퍼 고전류 중에너지 주입기로, 사물 인터넷(IoT) 및 전력 응용분야용으로 설계된 장치를 위한 고유한 주입 요구 사항을 해결하도록 설계되었습니다.
  • Purion XE™ 시리즈 - 업계를 선도하는 고에너지 주입 플랫폼으로, 특허 받은 Boost Technology™를 특징으로 하고 최첨단 이미지 센서 응용분야에 맞게 설계된 Purion XEmax가 포함됩니다.
  • Purion M™ 시리즈 - 이용 가능한 중전류 응용분야 커버리지를 가장 넓은 범위로 선택할 수 있고, 최근 진화하는 이온 주입 요구 사항을 충족할 수 있는 탁월한 유연성을 제공합니다. 
  • Purion Power Series™ - 완전한 Power device 응용분야 공간 전체에 걸친 처리를 위한 혁신적인 솔루션과 실리콘, 실리콘 카바이드(SiC) 및 박형 등 모든 웨이퍼 유형을 처리하는 기능을 특징으로 합니다.
  • 혁신적인 증강 현실(AR) 솔루션 - Microsoft HoloLens 모바일 홀로그램 기술을 활용하여 원격 교육, 서비스, 테스트 및 문제 해결을 지원하는 회사의 첨단 AR 시스템을 전시합니다. 시스템을 통해 고객과 Axcelis 기술자가 즉각적으로 협업할 수 있는 과정을 직접 살펴보십시오.

전시 중에, Axcelis 다음과 같은 기술 세미나도 개최할 예정입니다.

STS(SEMI 기술 심포지엄)
S2. 파괴적인 원료  공정 기술을 통한 미래 장치 혁명을 향한 첨단 원료  공정 기술 여정(Advanced Materials & Process Technology Journey to Future Device Revolution through Disruptive Materials & Process Technology)
와이드 밴드갭 반도체 도핑 기술(Wide Bandgap Semiconductor Doping Technologies)
이경원 박사, Axcelis Technologies
2024년 1월 31일 - 오후 3:45~오후 4:10
호실: #308, 컨퍼런스룸(남쪽), 코엑스
https://www.semiconkorea.org/en/node/7916

포럼
SiC 전력 반도체 써밋
실리콘 카바이드 도핑 기술
이경원 박사, Axcelis Technologies
2024년 2월 2일 - 오전 11:00~오전 11:30
호실: #300, 컨퍼런스룸(남쪽), 코엑스
https://www.semiconkorea.org/ko/node/8786

Axcelis Technologies의 러셀 로우(Russell Low) 사장 겸 CEO는 이렇게 설명했습니다. "아시아 태평양 지역에서 가장 중요한 기술 포럼 중 하나인 세미콘 코리아에 참가하게 되어 매우 기쁩니다. 한국은 오랜 기간 동안 Axcelis에게 매우 중요한 시장이 되어 왔기 때문에, Axcelis의 아시아 운영 센터와 강력한 현지 공급망을 통해 한국 반도체 제조사들에 최첨단 이온주입 기술을 제공할 기회를 기대하고 있습니다."

Axcelis 소개:
Axcelis(나스닥: ACLS)는 미국 메사추세츠주 베벌리에 본사를 두고 있으며, 45년 이상 동안 혁신적이고 생산성 높은 반도체 산업용 솔루션을 제공해 오고 있다. Axcelis는 IC 제조 공정에서 가장 중요한 공정 중 하나인 이온주입 공정 시스템의 설계, 제조 및  Life Cycle Support 를 통한 공정 응용 분야를 개발하는 데 전념하고 있다. Axcelis에 관한 자세한 정보는 www.axcelis.com에서 확인할 수 있다.

연락처:
Maureen Hart(편집/미디어) 978.787.4266
Doug Lawson(IR) 978.787.9552

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