미국 정부가 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 현지 공장 미국산 반도체 장비 반입 규제 유예를 최종 허가하고 이를 미국 관보에도 게재했다. 이번 조치는 반도체 장비 관련 건별 허가를 받을 필요 없어 수출 통제가 사실상 무기한 유예되는 효과가 있다는 점에서 업계는 반기고 있다. 다만 미국 정부는 첨단 반도체 양산에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 등 일부 품목은 반입 규제 유예에서 제외했다.

지난 13일(현지시간) 미국 상무부 산업안보국(BIS)은 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 공장에 대한 ‘검증된 최종 사용자(VEU)’ 규정을 개정한다고 관보에 게재했다. 최근 두 기업의 중국 현지 공장에 대한 미국산 반도체 장비 반입 규제 유예 방침을 한국 정부에 통보한 데 이어 관보에도 관련 규정을 게재하면서 공식화한 것이다. 이날 공개된 규정에는 삼성전자의 중국 시안 낸드 공장과 SK하이닉스의 중국 우시 D램 공장은 작년 10월 7일 발표한 반도체장비 수출통제 규정에서 예외라고 명시했다.

VEU는 미국 정부가 사전에 승인된 기업에만 지정된 품목에 대해 수출을 허용하는 일종의 포괄적 허가 방식이다. 관련 기업들로선 미국의 수출통제 유예 조치에 대한 불확실성을 해소할 수 있는 만큼 삼성전자와 SK하이닉스 등 한국 기업들이 그간 요청해 왔던 방식이다. 이날 관보에 게재돼 공개된 규정은 미국 기업이 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 공장에 수출할 수 있는 반도체 장비 목록을 업데이트한 내용이다.

미국 정부는 중국의 반도체 산업 발전을 견제하기 위해 지난해 10월 7일 미국 기업이 중국에 일정 기술 수준 이상의 반도체를 생산하는 데 필요한 반도체 장비를 수출하는 것을 사실상 금지하는 수출통제를 발표했다.

핀펫(FinFET) 기술 등을 사용한 로직칩(16nm 내지 14nm 이하)을 비롯해 18nm 이하 D램, 128단 이상 낸드플래시를 생산할 수 있는 장비·기술을 중국 기업에 판매할 경우 허가를 받도록 하는 것이 핵심이었다.

이어 상무부는 같은 달 11일에 삼성전자와 SK하이닉스 등 다국적 반도체 기업에 1년간 수출 통제를 한시적으로 유예한다고 통보했다. 이후 우리 정부는 삼성전자와 SK하이닉스가 안정적으로 사업할 수 있도록 VEU 규정을 개정해 유예를 제도화하는 방안을 미국 정부와 협의해왔다.

특히 이번에 개정된 규정에는 기존 미국산 반도체 장비의 선적·운송·서비스와 관련된 ‘미국인’의 지원 활동에 대해 미국 정부의 허가를 받도록 했던 규제와 관련해서도 예외를 적용하는 내용도 담겨 있는 것으로 전해졌다. 예를 들어 미국산 반도체 장비의 유지·보수와 관련한 미국인 기술 인력이 중국에서 지원 활동을 하기 위해선 미국 정부의 허가를 받아야 했지만, 이같은 제한을 면제해 준 것이다.

BIS는 삼성전자와 SK하이닉스가 중국에서 계속 사업하는 것을 가능하는 VEU 규정 개정이 한미간 긴밀한 협의 결과라고 밝혔다.

앨런 에스테베스 상무부 산업안보 차관은 보도자료에서 “VEU 프로그램은 우리의 국가안보 목적을 달성하는 협력관계가 지속되는 것을 보장하는 데 중요한 도구”라며 “이번 허가는 한국과 우리의 긴밀한 협력관계와 일관된다”고 강조했다.

다만 이날 공개된 관보 규정에는 미국이 삼성전자와 SK하이닉스의 중국공 장에서 앞으로 생산할 수 있는 반도체 기술 수준을 어디까지로 제한했는지는 공개되지 않았다. 에스테베스 차관은 앞서 지난 2월 한 포럼에서 “기업들이 생산할 수 있는 반도체 수준에 한도(cap on level)를 둘 가능성이 크다”고 언급한 바 있다.

한편 미국 정부는 글로벌 1위 파운드리 기업인 대만 TSMC에도 대중(對中) 반도체 장비 수출 통제 유예 조치 연장을 승인했다.

13일(현지시간) 로이터통신에 따르면 왕메이화 대만 경제부장은 “수출 통제 유예 조치 연장은 TSMC에도 확대 적용되는 것으로 이해한다”고 말했다. 다만 연장 기한 등 구체적 내용은 언급하지 않았다.

TSMC측도 “미국 산업보안국으로부터 ‘검증된 최종 사용자(VEU)’ 지정을 신청하라는 조언을 받았다”며 미 정부가 무기한 유예 조치를 적용하길 기대한다고 밝혔다. TSMC는 중국 난징 공장에서 주로 28나노미터(㎚·1㎚=10억 분의 1m) 제품을 생산해왔다.