일본 잉크 제조사 DIC는 PFAS(유기불소화합물)를 쓰지 않는 반도체용 계면활성제를 개발했다고 31일 밝혔다. 계면활성제는 반도체 포토레지스트 제작시 고체와 액체의 표면장력을 낮춰주는데 사용한다. 

이를 통해 포토레지스트 내 소재들이 한데 잘 섞이게 만드는 것이다. 그동안 불소가 함유된 PFAS를 사용해왔지만, 이 재료가 인체에 유해하다는 지적이 제기돼 왔다. 

이에 DIC는 유럽 내 한 반도체 회사로부터 PFAS를 쓰지 않는 계면활성제 개발을 요청 받았으며, 최근 개발은 완료했다. 유럽에서는 PFAS의 사용을 전면적으로 규제하기 위한 논의가 진행되고 있다. 유럽 내 환경규제는 시차를 두고 북미⋅아시아로 전파된다는 점에서 조만간 국내에서도 관련 규제가 마련될 가능성도 있다.

신제품은 PFAS를 쓰지 않고도 소재와 섞였을때 표면장력을 억제하고, 매끄러운 박막을 만든다는 게 DIC측의 설명이다.