중국 반도체 장비업체 에이멕(AMEC)이 MOCVD(유기금속화학증착장비) 부품 국산화율 80%를 달성했다. 에이맥은 원래 반도체용 식각장비로 유명한 회사인데, LED(발광다이오드) 핵심 설비인 MOCVD로 포트폴리오를 확장하고 있다. 

6일 중국 아이지웨이에 따르면  에이멕은 최근 인터뷰를 통해 "MOCVD 부품 국산화율 80%를 달성했다"며 "마이크로 LED 산업 발전에 따라 2026년까지 글로벌 MOCVD 수요는 800대에 이를 것으로 예상된다"고 밝혔다. 

MOCVD는 LED 기판이 되는 사파이어 웨이퍼 위에 GaN(질화갈륨) 층을 증착시키기 위해 사용하는 설비다. 원래 2010년을 전후로 미국 비코, 독일 엑시트론 등이 글로벌 시장을 양분했다. 최근에는 비코 설비가 주류를 이루는 가운데 중국 내 장비 업체들도 시장에 가세하고 있다. 

지금은 시장이 개화 단계인 마이크로 LED가 양산 단계에 들어서면 MOCVD 신규 수요도 늘어날 것으로 예상된다. 에이멕은 중국 내에서 몇 안 되는 실력 있는 장비 업체로 꼽힌다. 지난 2004년 미국 어플라이드머티리얼즈 출신의 제럴드 인이 창업했다. 엔지니어 대부분이 어플라이드머티리얼즈 출신이라 식각 장비는 물론 MOCVD 분야에서도 두각을 드러낼지 기대를 모으고 있다.

한편 에이멕은 주력인 식각 장비의 경우 생산능력을 꽉 채울 만큼 주문이 이어지고 있다고 밝혔다. 에이멕 관계자는 "더 섬세한 칩을 제조하기 위한 식각 기술 및 설비의 중요성도 강조되고 있다"며 "식각 장비 국산화율을 60%를 달성했다"고 설명했다.