중국 정부 싱크탱크 역할을 하는 국책 기관이 초미세공정 반도체 개발을 위해 소매를 걷어 붙였다. 

22일 중국 언론 지웨이왕에 따르면 중국과학원 상하이고등연구원은 최근 박사후연구원 모집 공고를 내고 '모집 인력이 7nm 이하(Sub-7nm) 반도체 부품과 싱크로트론 방사선(synchrotron radiation) 특성화 및 응용 연구 등 과제를 수행할 것이라고 밝혔다. 

공개된 정보에 따르면 '7nm 이하 첨단 공정 노드 반도체 핵심 부품의 싱크로트론 방사선 특성 기술 및 응용'과제는 중국의 국가 중점 개발 계획 중 '대과학 장치 첨단 연구' 2021년 프로젝트 중 하나다. 중국과학원 상하이고등연구원이 주도하며 5년 간 추진되는 프로젝트다. 

중국과학원 상하이고등연구원의 이번 모집 공고를 통해 본격적으로 R&D 프로젝트를 시작됐음을 알 수 있다고 중국 언론은 전했다. 

중국 난카이(南开)대학에 따르면 이 학교의 뤄펑(罗锋) 교수도 해당 주제를 맡아 극자외선 리소그래피 기술의 포토레지스트 합성 제조 및 에칭 평가 작업을 수행했다. 파트너로 SMIC의 북부 반도체혁신센터와 베이징 슈퍼스트링 메모리 연구원이 참여했다.