원더사이트, 독자 개발한 고정밀 스테퍼 공급 시작

선전(深圳) 원더사이트(稳顶聚芯技术, Wonder Sight)는 중국 최초의 고정밀 스테퍼 리소그래피(노광기) ‘WS180i’를 출하했다고 25일 밝혔다.

이 장비는 주로 미니 및 마이크로LED 칩과 전력반도체 등 화합물 반도체 제조 공정에 쓰인다. 2인치부터 8인치에 이르는 실리콘 웨이퍼, 사파이어, SiC(실리콘카바이드) 등 여러 종류의 웨이퍼에 적용되며, 다양한 두께의 포토레지스트를 지원한다. 해상도는 1.5μm~0.35μm를 구현할 수 있다.

회사측은 심한 뒤틀림이 있는 웨이퍼 처리, 다양한 화합물 지원 등 공정 적응성을 강화하고, 고속 웨이퍼 전송 시스템과 고정밀 고속 이송 플랫폼, 초고속 셋업 시스템을 적용해 생산성을 높일 수 있다고 설명했다. 

원더사이트는 자사가 중국 내에서 유일하게 오버레이 정밀도 100nm(나노미터)를 구현할 수 있는 전공정용 노광기 회사라고 덧붙였다. 

이 회사는 2023년 선전에 설립돼 반도체 장비를 개발해왔다. 측정 장비, 초정밀 광학 이미징 품질 검사 시스템, 웨이퍼 엣지 파인더 및 웨이퍼 핸들러, 박막 측정 시스템 기술을 보유하고 있다. 핵심 인력의 85%가 석사 이상 학위 보유자다.

2000m2이상의 R&D(연구개발) 및 생산 시설을 두고 있다. 연간 20대의 노광기를 생산할수 있다. 올해 매출액은 1억4000만위안(약 276억원)으로 예상된다.