AMEC, 플라즈마 에칭 장비 누적 판매 5000대 돌파

‘중국의 램리서치’라 불리는 반도체 장비 업체 AMEC(中微半导体, Adevanced Micro-Fabrication Equipment)이 지난해 매출액 1조원을 넘어선 뒤에도 고성장세를 이어가고 있다.

AMEC은 지난 2월말 기준 자사 플라즈마 에칭(식각) 장비 판매량이 누적 5000대를 넘어섰다고 12일 밝혔다.

이중 CCP(Capacitively Coupled Plasma) 장비 설치 대수는 4000대 이상, ICP(Inductively Coupled Plasma) 장비 설치 대수는 1000대 수준이다. CCP 장비 출하량은 지난 4년간 37% 성장했고, ICP 장비 출하량은 같은 기간 100% 성장했다.  

현재 AMEC 장비를 공급 받아 사용하는 반도체 회사는 전세계 130여 곳이고, 주로 5nm(나노미터)와 그 이하 초미세 공정에 활용된다. 

장비 판매량 증가로 이 회사 지난해 연간 매출액은 90억6500만위안(약 1조8171억원)을 기록, 연간 45%% 성장했다. 지난 13년간 연평균 매출액 성장률 35%를 넘어선 수치다. 특히 핵심 제품인 에칭 장비 매출액이 72억7700만위안(약 1조4588억원) 으로, 연간 55% 증가했다. 

AMEC은 지난해에만 6개 분야에서 20종이 넘는 신장비를 출시해 LPCVD(저합화학기상증착) 장비는 4억7600만위안(약 954억원) 규모의 발주를 받았다. 현재 박막 증착, 계측 장비도 개발 중이다. GaN(갈륨나이트라이드) LED 생산용  MOCVD(금속유기화학증착) 장비 시장에서도 50% 이상 점유율을 기록하고 있다.