포인트엔지니어링, MEMS 핀(Pin) 프로브카드 개발 국책과제 주관업체 선정

반도체 부품소재 전문업체 포인트엔지니어링(대표 안범모, 강대현)은 산업통상자원부가 주관하는 2024년 소재부품개발사업의 국책과제 주관업체로 선정됐다고 10일 밝혔다.

과제명은 ‘3세대 Vertical Probe Head를 적용한 3나노 이하 시스템반도체용 MEMS Probe Card 기술개발’로 총 사업규모(연구비)는 46억원이며 연구기간은 2027년 12월 31일까지다.

포인트엔지니어링은 해당 과제에서 포인트엔지니어링의 신규 사업으로 진행 중인 Vertical MEMS Pin 개발을 담당하며, 동시에 동 Probe Card의 Head 및 Guide Plate 전체 개발을 주관하게 된다고 설명하였다.

Probe Card는 반도체 칩의 양불량을 검사하는 필수 검사 부품으로 최근 빠르게 고집적화 되고 있는 반도체 소자와 맞게끔 점차 미세화되고 있다. 이에 3나노 이하 공정에 사용 가능한 Probe Card의 개발이 목적이다.

한편 포인트엔지니어링이 개발한 MEMS 핀(Pin)은 20:1의 고종횡비(High Aspect ratio)로 100㎛(마이크로미터) 높이에 5㎛ 선폭을 가지고 있어, 기존 핀으로는 한계가 있는 고집적 협피치의 반도체 검사가 가능하다. 최근 HBM과 같은 고속 및 고집적 반도체 생산이 증가함에 따라 관련 검사 기술 역시 고도화되고 있어 포인트엔지니어링의 MEMS 핀(Pin) 파운드리에 대한 수요 증가를 기대하며 동 사업을 본격 진행 중이다.