제이오, 인하대학교와 기술 이전 협약…고부가 펠리클 기술 완성도 높인다

탄소나노튜브(CNT) 전문기업 ㈜제이오(대표 강득주)는 인하대학교(총장 조명우)와 고투과도와 고결정성을 가지는 탄소나노튜브(CNT) 멤브레인 기술 이전 협약을 체결했다고 10일 밝혔다. 이번에 이전하는 기술은 인하대 화학공학과 양승재 교수 연구팀이 개발한 CNT 멤브레인 기술로 기술 이전료는 2억원 규모다.

지난 20년간 탄소나노튜브 연구개발에 매진해 온 제이오는 10년 전부터 탄소나노튜브 시트를 개발해 공급해 왔다. 회사는 이를 응용해 현재 산학협력 연구과제로 반도체 EUV 펠리클용 탄소나노튜브를 개발하고 있으며, 핵심 기술 완성도를 높이기 위해 이번 기술이전 계약을 체결하게 됐다.

제이오는 이번 협약 체결을 통해 고투과도와 고결정성을 강화한 EUV 팰리클용 CNT 멤브레인 개발에 속도를 내면서 차세대 반도체 혁신 소재기업으로 시장 내 지위를 확보할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

펠리클은 EUV 공정에서 회로를 새겨 넣는 판인 포토마스크를 이물질로부터 보호하는 역할을 한다. EUV 공정은 광투과를 통해 노광을 진행하게 되는데, 펠리클이 이 과정에서 발생되는 파티클(이물질)에 의한 마스크 손상 등의 공정 손실을 최소화해 제품의 수율을 높일 수 있다. 개당 가격이 수천만원에서 비싸게는 1억원에 육박하는 고부가가치 제품으로 평가받는다.

특히 현재 상용화된 EUV 펠리클은 EUV 노광 장비 출력인 300~400W에 적합하지만, 향후 도입될 하이-NA EUV 장비는 출력이 높아 600W 이상의 내구성을 갖춘 새로운 펠리클이 필요하다. 탄소나노튜브 펠리클은 기존 실리콘 소재의 EUV 펠리클보다 내구성이 2배 강해 향후 도입될 하이-NA EUV 공정에 최적화됐다는 평가를 받는다.

한편 제이오는 지난 20년간 탄소나노튜브 개발을 통해 업계 최초 다중벽탄소나노튜브(MWCNT) 대량 생산에 이어, 2014년 세계 최초 비철계 탄소나노튜브 개발 및 소수벽탄소나노튜브(TWCNT) 개발에 성공한 바 있다. 2023년에는 단일벽탄소나노튜브(SWCNT)를 개발하는 등 세계적인 수준의 CNT 개발 기술력을 갖추고 있다.