머크, 마이크론과 GWP 낮은 식각 가스 개발 협력

독일 화학소재 업체 머크가 미국 메모리 반도체 업체 마이크론테크놀로지와 지구온난화지수(GWP)가 낮은 식각 가스를 개발한다. 

머크와 마이크론은 GWP가 높은 기존 소재를 대체하기 위해 대안 식각 가스 공정 테스트를 진행 중이라고 4일 밝혔다. 양사 목표는 반도체 생산 과정에서 사용할 수 있는 지속가능한 가스를 영구 도입하는 것이다.

카이 베크만 머크 일렉트로닉스 회장은 "지속가능성에는 협력이 필요하다"면서 "회사 안쪽의 영역으로만 스스로를 제한해서는 안 된다. 전체 가치 사슬은 함께 더 많이 성취하기 위해 새로운 공동의 길을 모색해야 한다"고 말했다.

존 휘트먼 마이크론 운영 담당 부사장은 "마이크론이 새롭게 설정한 목표는 당사 글로벌 운영에 따른 배출량을 2020년 대비 2030년까지 42% 감소시키는 것"이라고 밝혔다.

존 부사장은 "마이크론은 넷제로(net-zero) 약속을 지키기 위해 지구온난화지수가 낮은 가스의 우선적 사용, 에너지 효율적인 장비 구매, 화석 연료로 생산되는 에너지 대신 재생 에너지 구입 등을 도입할 것"이라고 말했다. 

양사는 반도체 생산시 식각 공정 등에 사용할 수 있는 신소재를 개발하기 위해 지속 협력할 방침이다.

한편 머크는 2030년까지 온실가스 직접 배출량와 간접 배출량을 2020년과 비교해 50% 감축한다는 목표를 세웠다. 

머크의 온실가스 배출량 중 대부분은 전자산업 위한 특수 화학제품 생산과정에서 배출에서 비롯되며 공정 개선을 통해 목표치를 달성할 방침이다.