대만에서 차세대 웨이퍼 개발을 위한 산학 연구가 활발히 진행되고 있다.

세계 3위 반도체 웨이퍼 기업 글로벌웨이퍼스와 대만교통대학 광전엔지니어링연구소 궈하오중(郭浩中) 교수, 대만나노미터부품실험실과 함께 ‘복합 웨이퍼’ 개발에 성공했다. 5G 시장을 위한 웨이퍼다.

글로벌웨이퍼리가 이번 궈  교수 및 대만나노미터부품실험실과 협력한 사례는 과학단지연구개발 산학협력 프로젝트 중 하나다.

▲글로벌웨이퍼스 이미지. /글로벌웨이퍼스 제공

삼자가 기판, 웨이퍼 접합, 에피택시(Epitaxy)와 고전자이동도트랜지스터(HEMT) 부품 제조 공정과 검증 기술을 위해 협력해 성공적으로 고내압 복합 웨이퍼를 개발해낸 것이다.

글로벌웨이퍼리는 향후 5G 시장 이외에도 이번에 개발해낸 ‘질화갈륨(GaN) 에피택시 복합 웨이퍼’가 전기차 시장 등에 적용될 수 있을 것으로 내다봤다.

글로벌웨이퍼리는 탄화규소 복합웨이퍼도 개발하고 있다. 글로벌웨이퍼리는 “최근 관련 상품의 가격이 아직 매우 높고 하락 움직임이 없다”며 “하지만 “2020년이면 수요가 폭발할 것이며 최근 몇 년간 관련 생산 능력이 확대되고 있다”고 전했다.

글로벌웨이퍼스는 최근 한국 천안에 2억 달러 투자를 앞두고 있다.