중국 칭화유니그룹의 메모리 반도체 자회사인 창장메모리가 14nm 3D 낸드 플래시 생산을 위해 네덜란드 ASML로부터 첫 광각장비를 구매했다.

지난 주 중국 파운드리 기업 SMIC의 극자외선(EUV) 광각장비 구매 사실이 알려진 지 얼마되지 않아 또 한번의 중국 반도체 기업 장비 구매 소식이 공개됐다.

중국 취둥즈자 등 언론을 종합하면 창장메모리는 ASML로부터 약 7200만 달러(약 779억 400만 원) 가격의 광각장비 한 대를 구매했다. 193nm 이머전 설계가 적용되고 14~20nm 공정의 3D 낸드플래시 웨이퍼를 생산할 수 있다.

이 장비는 이미 우한 톈허(天河) 공항에 도착해 국경 반입 절차를 완료했으며 곧 창장메모리로 운송될 예정이다.

▲창장메모리가 주문한 ASML 장비가 중국 톈허공항에 도착했다. /취둥즈자 제공

이어 창장메모리는 후속으로 더 많은 광각장비를 반입할 것으로 알려졌다. 

지난 2016년 말 창장메모리는 메모리 반도체를 생산하기 위한 ‘국가반도체기지프로젝트’ 1기 건설을 시작했으며 지난해 9월 말 공장 건물 건설을 완료하고 지난 4월 5일 처음으로 400만 달러(약 43억2800만 원)의 정밀 검측기를 반입햇다.

최근 창장메모리는 자체적으로 개발한 32단 낸드 플래시 새상샌을 시작했다. 많은 기업이 시제품 테스트 단계에 있으며 올해 4분기 양산 계획이다.

창장메모리는 64단 3D 낸드 플래시 생산도 추진하고 있으며 내년 말 대규모 양산을 개시하는 것이 목표다. 계획대로 진행될 경우 세계 선두 기업과의 차이를 약 2년 이내로 좁힐 수 있다.