국제반도체장비재료협회(SEMI)는 지난 1분기 전세계 반도체 제조 장비 출하액이 분기 기준 사상 최고치인 170억달러(약 18조2036억원)를 기록했다고 5일 밝혔다.

▲2018년 1분기 지역별 반도체 제조 장비 출하액./SEMI

이는 지난해 4분기 출하액 151억달러(약 16조1676억원)보다 12%, 지난해 1분기 131억달러(약 14조275억원)보다 30% 각각 증가한 수치다.

지역별로는 한국이 63억달러(약 6조7454억원)로 가장 높았다. 한국의 반도체 제조 장비 출하액은 지난해 4분기보다 35%, 지난해 1분기보다 78% 늘어났다. 

분기 기준 성장률이 가장 높은 곳은 중국이었다. 중국의 지난 1분기 반도체 제조 장비 출하액은 26억달러(약 2조7838억원)로, 전 분기보다 49% 커졌다.

SEMI는 일본반도체장비협회(SEAJ)와 함께 세계 장비회사 95개 업체에서 월 단위로 데이터를 취합, 보고서를 작성한다.