중국의 메모리 반도체 국산화 프로젝트는 양쯔강메모리테크놀로지(YMTC), 푸젠진화반도체(JHICC), 이노트론메모리 등 3대 업체를 중심으로 추진되고 있다. 이 중 이노트론메모리는 연내 모바일 D램 양산화를 목표로 팹 구축에 속도를 내고 있다.

KIPOST는 지난해 6월부터 올해 7월까지 이노트론메모리가 발주한 D램용 장비⋅재료 협력사를 전수 조사했다.


한국 업체는 손에 꼽을 정도로 극소수

▲이노트론이 건설 중인 D램 공장 'Fab 1' 전경. /이노트론 제공

이노트론메모리가 발주한 D램용 장비⋅재료 중 현재까지 확인된 사례는 총 142건이다. 이노트론은 특히 지난해 연말을 전후로 다량의 장비⋅재료를 발주했다.

YMTC⋅JHICC와 마찬가지로 이노트론 역시 대부분의 장비⋅재료 협력사가 미국⋅일본에 집중되어 있다. 142건 중 미국 업체가 수주한 사례가 47건으로 가장 많았고, 일본이 33건으로 뒤를 이었다. 미국⋅일본 업체가 수주한 건수만 전체의 절반을 넘어선다.

어플라이드머티어리얼즈⋅KLA텐코⋅도쿄일렉트론 등 반도체 라인 신설 프로젝트에 단골로 등장하는 업체들이 이번에도 이름을 올렸다.

반면 국내 업체들이 수주한 사례는 손에 꼽을 정도로 극소수다. 미래보⋅새솔다이아몬드⋅파크시스템스⋅PSK 등 4개 업체가 전부다.

미래보는 공정 진행중 발생되는 부산물 포집 장치인 트랩을 수주했다. 트랩은 반도체 공정에 직접 관여하는 장비는 아니지만, 부산물이 다른 장비에 미치는 부작용을 사전에 차단해준다. 이 회사는 이노트론은 물론 국내서 삼성전자⋅SK하이닉스, 해외서는 마이크론테크놀러지⋅TSMC⋅도시바 등 대부분의 반도체 업체를 고객사로 확보하고 있다.

새솔다이아몬드가 수주한 소프트폴리시패드컨디션은 CMP 슬러리 공정에 쓰이는 일종의 소모재다. CMP 패드의 ‘글레이징(닳아서 절삭성을 잃은 상태)’ 현상을 방지해 공정 효율을 높여준다.

이외에도 파크시스템스가 웨이퍼프로파일측정기, PSK가 포토리지스트 스트리퍼를 각각 수주했다.

아래는 이노트론이 발주한 장비⋅재료 협력사 리스트다.