스페셜티 D램 양산을 목표로 반도체 라인을 건설 중인 푸젠진화반도체(JHICC)가 이달 들어서도 추가 장비를 발주했다.

4일 KIPOST 집계에 따르면 JHICC는 지난달 24일부터 이달 3일까지 총 17건의 D램용 장비를 발주했다. 지난번 집계(KIPOST 2018년 8월 22일자 <'D램 굴기' 中 JHICC 장비 협력사 52개 리스트> 참조)와 마찬가지로 미국⋅일본 업체들이 선전했다.

국내서는 GST(글로벌스탠다드테크놀러지)가 플라즈마스크루버 평가를 단독 통과했다. 스크루버는 반도체⋅디스플레이 공정 장비에서 사용된 후 배출되는 가스를 정화하는 장치다. 공정별 처리 가스에 따라 번(Burn) 타입, 써멀 웻(Thermal Wet) 타입, 플라즈마 웻(Plasma Wet) 타입 등으로 나뉜다. 이번에 GST가 수주한 플라즈마스크루버는 플라즈마(DC Arc Jet Plasma)를 이용해 2000℃ 이상의 고온으로 유해가스를 처리한다.

한편 JHICC는 대만 UMC와 푸젠성 지방 정부 합작사로, 진장 지역에 D램 라인을 건설하고 있다. 투자 규모는 56억달러(약 6조원) 수준이다.

원래 목표는 올 하반기부터 월 6만장 규모로 양산을 시작해 5년 내에 생산량을 2배로 늘리는 것이었다. 그러나 대부분의 핵심 장비들이 최근 들어 발주가 확정되는 것으로 보아 실제 이 같은 스케줄이 지켜지기는 불가능해 보인다.

아래는 JHICC가 지난해 연말부터 올해 8월 15일까지 발주를 확정한 장비와 협력사 목록이다. ‘T/A’는 수주가 확정(Tender Awards)됐다는 뜻이다. ‘E/R’은 평가결과(Evaluation Result)를 1위로 통과했다는 의미다. E/R은 이변이 없는 한 1개월 정도 후 T/A로 확정된다.

 

 

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