반도체는 제조 과정에서 다양한 화학물질을 사용한다. 기계에 결함이 생겨 화학물질이 누출되면 위험한 사고로 이어진다. 이를 방지하기 위해서는 장비를 설계, 제작할 때부터 안전 관리가 필수다.

국제반도체장비재료협회(SEMI)는 반도체 장비안전 국제표준 ‘S2’의 한글 개정판을 이달 발간한다고 4일 밝혔다.

이번 개정판은 삼성전자, SK하이닉스, 세메스, ASM 등 국내외 반도체 제조·장비사와 인증 업체의 전문가들이 직접 번역에 참여, 현장에서 실제 사용하는 용어와 적합하게 해석됐다. 장비 플랫폼과 계단·사다리 설계 기준에 대한 내용도 추가됐다.

SEMI는 45년간 모든 유형의 반도체 장비가 갖춰야 할 환경, 보건, 안전 등 26건의 국제 표준 가이드라인을 개발, 제공하고 있다. 이 가이드라인은 전 세계 반도체 제조 분야에서 활용되고 있고, 발광다이오드(LED) 및 디스플레이 업계에서도 쓰인다.

한국SEMI는 지난 2013년부터 국제 표준 한글화 작업을 추진하고 있다. 연말 ▲반도체 제조 장비의 배기에 대한 환경안전보건(EHS) 가이드라인(SEMI S6-0707), ▲반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인(SEMI S14-1016) ▲위험성 평가 및 위험성 검토 절차 가이드라인(SEMI S10-0815 )이 한글로 발간될 예정이다. 

이와 별도로 1년에 2번 각 업체에서 ‘S2’를 사용하는 담당자에게 분야별 교육을 진행 중이다.