중국 상하이마이크로기술산업연구원(SITRI)이 운영하는 8인치  ‘모어 댄 무어(More than Moor)’ 연구개발(R&D) 파일럿 생산라인에서 처음으로 센서가 인증을 통과했다. 정식 양산을 앞두고 일정 규모의 생산에 성공한 것이다.

이 곳 SITRI에서는 차세대 반도체 기술을 통해 미래 반도체 산업 발전을 리드해보겠다는 중국의 의지를 녹여 모어의 법칙을 넘어서겠다는 각오로 파일럿 라인을 구축해 각종 기술 개발을 추진하고 있다.

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센서 개발은 이번이 처음이다. 센서 개발을 통해 중국이 미세전자제어기술(MEMS) 첨단 센서 연구개발의 산업화 과정에서 발전 단계를 한 당계 올라서는 데 의미있는 성과를 이뤘다고 연구원은 평가했다.

모어 댄 무어 전략은 센서를 핵심으로 삼아 RF, 전력, 마이크로 에너지 등 기술을 결합하는 것이 향후 만물 인터넷 기술의 기초가 될 것으로 전망하는 하나의 기치다. 혁신 플랫폼으로서 산업연구원은 중국 내 반도체 연구개발 및 산업 기지로서 상하이에 8인치의 시생산라인을 운영하고 있다. 중국의 차세대 반도체 개발을 위한 핵심 기지 중 하나다.

▲상하이마이크로기술산업연구원(SITRI)이 운영하는 8인치  ‘모어 댄 무어(More than Moor)’ 연구개발(R&D) 파일럿 생산라인에서 처음으로 센서가 인증을 통과했다. /SITRI 제공

SITRI가 운영하는 이 곳에서는 실리콘 표면, 벌크 실리콘, 3D 마이크로 나노 가공 공정 등에 대한 연구개발이 이뤄지고 있다.

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모어 댄 무어 전략에 근거해 상품과 기술에 있어 MEMS, 실리콘 포토닉스, 무선주파수(RF), 실리콘 기반 III-V족, 3D 집적, MR 자기장, 전력과 바이오 등 관련 공정 및 계측 장비를 갖추고 전방위 제품 개발, 기술 훈련, 장비 인증 등 서비스를 제공하고 있다.

향후 이 곳에서는 신재료와 공정, 새로운 부품과 시스템 등 기술을 토대로 연구개발을 가속하고 모어 댄 무어 산업 사슬의 발전을 꾀할  계획이다.