중국 주요 반도체 장비업체가 미국 반도체 세정장비 기업을 인수한다.

7일 중국 베이팡화촹(北方华创)그룹이 6회 이사회 8차 회의에서 자회사인 장비업체 노라(NAURA, 北方华创微电子装备有限公司)가 미국 아크리온 시스템즈(AkrionSystems)를 인수하는 안을 승인했다. 이날 노라의 자오진룽(赵晋荣) 총재와 아크리온의 미샤 엘러안누(MichaelIoannou) 대표가 베이징에서 인수를 위한 협의에 서명했다. 노라와 아크리온은 이후 정부의 엄격한 심의 절차를 거치게 된다.

미국 펜실베니아주에 본사를 둔 아크리온은 반도체 웨이퍼 세정 설비 전문 기업으로 반도체 제조 영역과 웨이퍼 제조 영역 및 MEMS, 그리고 첨단 패키징 장비 영역 등에 주력하는 회사다. 아크리온은 다년간의 세정기술을 축적한 기업으로서 광범위한 애플리케이션과 고객 기반을 보유했다. 현재 가동되고 있는 장비가 누적 1000여대 수준이다.

▲중국 반도체 장비 업체 노라(NAURA)가 미국 반도체 장비 업체를 인수한다. /노라 제공

노라는 베이팡화촹그룹 산하의 반도체 장비 기업으로 세정 장비에 대한 연구 개발 및 산업화를 꾀하고 있다. 12인치 단독 세정 장비가 이미 반도체 제조 공정의 예측 세정 및 재생 세정, 그리고 구리 접속 이후 세정, 알루미늄 매트 세정 등 공정에 쓰인다.

이번 아크리온 인수에 성공하면 노라의 세정장비가 상당 부분 보완되면서 반도체, 첨단 패키징, 전력 부품, MEMS, 반도체 조명 등 반도체 영역의 8~12인치용 배치, 단독 세정 장비 등을 적용될 수 있을 전망이다. 노라의 반도체 세정 장비 고객 확대와 고객 서비스 역량 등이 크게 늘어날 것으로 기대한다.

노라의 자금 및 기술 지원을 통해 아크리온은 미국에서의 연구개발 및 제조역량을 강화할 계획이다. 더 나아가 미국과 유럽 및 대만 등 지역 시장에서 고객 서비스 역량을 확대해 양사의 연구개발, 유통 채널 및 사후서비스(AS), 공급망 등 환경을 통합한다. 이를 통해 협력을 통한 시너지를 키우고 세정장비 영역에서 시장 경쟁력을 높여 중국 반도체 산업 발전의 새로운 기회로 삼는 한편 회사의 규모도 불리겠다는 것이다.