1100억 원 투자

중국 나타(NATA Opto-Electronic Material)는 자사가 건설하고 있는 불화아르곤(ArF) 포토레지스트 공장에서 샘플이 검증되고 있는 단계라고 밝혔다. 

회사는 중국의 국가 'ArF 포토레지스트 상품의 개발과 산업화 프로젝트'를 맡아 공장 건설을 하고 있다. 지난해 말 한 개의 생산라인을 설치하고 최근 조율 단계다. 지난 4월 ArF(193nm) 검측 성능을 보유한 노광장비를 공장에 반입했으며 5월 안장과 조율을 진행했다. 회사에 따르면 ArF 포토레지스트에 쓰이는 고순도 원재료를 자체개발했으며 이미 샘플이 고객사에서 테스트되고 있다. 

검증에는 12~18개월, 혹은 그 이상의 시간이 소요될 것으로 전망되고 있다. 나타 측은 ArF 포토레지스트 개발 기술의 난이도가 높고 공정 요구 사항이 높아 안정적인 양산을 위해 시간이 필요하다고 전했다. 또 로우엔드급 고객의 주문을 받을 수 있을지 여부와 대규모 시장 공급에는 아직 불확실성이 남아있는 상황이다. 

 

나타 로고. /나타 제공
나타 로고. /나타 제공


나타의 ArF 포토레지스트의 개발과 산업화 프로젝트에는 6억5600만 위안(약 1125억 8272만 원)이 투자됐다. 이중 국가에서 1억9300만 위안(약 331억2266만 원)을 지원했으며 지방 정부가 1억9700만 위안(약 338억 원)을 보조했다. 프로젝트 실행 주체는 나타의 100% 자회사인 닝보(宁波) 나타다. 

지난해 12월 14일 나타는 공시를 통해 2억6000만 위안을 증자해 닝보 나타의 자본금을 기존 4000만 위안에서 3억 위안으로 늘린다고 밝혔다. 이를 통해 ArF 포토레지스트 상품의 개발과 산업화에 속도를 내고 관련 전략도 강화할 것이라고 설명했다. 

회사는 ArF 포토레지스트 상품의 개발과 산업화 프로젝트에 3년의 건설 과정, 시생산과 판매 기간을 예상하고 있으며 연간 25톤의 193nm ArF 건식 및 액침 방식 포토레지스트 상품의 생산 계획을 세웠다. 반도체 산업의 표준에 부합하면서 포토레지스트 분석 및 검측, 연구 허브 기능을 할 것으로 기대하고 있다. 

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