선전 공장 소재 8인치 생산능력 확장 차원

SMIC가 구매한 ASML의 노광장비가 세관을 거쳐 공장으로 반입됐다. 단 극자외선(EUV) 장비는 아니다. 

SMIC는 4일 ASML로 부터 사들인 한 대의 대형 노광장비를 순조롭게 선전(深圳) 공장에 반입했다고 밝혔다. 

SMIC에 따르면 핑산(坪山)세관의 서비스 조치에 따라 골든타임 내에 공장에 장비를 반입할 수 있었다. 

SMIC의 선전 공장은 선전시 핑산구에 위치했으며 한 개의 200mm(8인치) 파운드리 공장을 통해 0.35㎛에서 90nm 공정 서비스를 한다. 선전 공장은 최근 늘어난 200mm 생산능력 수요에 대응하기 위한 확장을 진행하고 있다. 

이번에 반입된 노광장비는 193nm 파장의 심자외선(DUV, Deep UV) 시리즈다. 

 

ASML 로고. /ASML 제공
ASML 로고. /ASML 제공

 

당초 장비명이 정확히 알려지지 않았을 때 일각에선 EUV 장비 반입 가능성을 제기했지만 사실이 아니었다. 

SMIC에 따르면 DUV 노광장비는 기존 생산라인의 확장에 쓰인다. 최근 선전 공장에서는 주로 0.35㎛~90nm 공정을 제공하며 EUV 노광 장비의 경우 7nm 혹은 그 이하 공정에서만 주로 사용된다.  

6일 SMIC는 장비에 대해 "EUV 노광 장비는 중요한 일이기 때문에 관련 동태에 변화가 있을 경우 직접 공식적으로 발표하겠다"며 이번 장비가 EUV 장비는 아님을 재차 확인했다. 

SMIC는 앞서 지난 2018년 5월 ASML에 1억5000만 달러 상당의 신형 EUV 장비를 주문했다. 본래 지난해 초 납품될 계획이었다. 하지만 미국의 제재로 네덜란드 정부가 ASML에 허가증을 발급해주지 않고 있다고 중국 언론은 전했다. 

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