중국 BOE의 충칭 B12 유기발광다이오드(OLED) 라인을 위한 장비가 속속 발주되고 있다. B12는 BOE의 세 번째 6세대(1500㎜ X 1850㎜) OLED 라인으로, 원판 투입 기준 월 4만5000장 수준으로 건설된다. 

앞선 지어진 B7(청두), B11(몐양)과 마찬가지로 국내 장비 업체들이 공급사로 다수 지정됐다.

에이치앤이루자, B7⋅B11 이어 B12에도 공급

에이치앤이루자는 B12에 진공 증착장비의 일종인 스퍼터 공급사로 선정됐다. 스퍼터는 이온화된 가스 원자를 증착 시키려는 물질에 충돌시켜 기판에 박막을 형성해준다. 증착하고자 하는 재료에 물리적 힘을 가한다는 점에서 물리적기상증착(PVD, Physical vapor deposition)에 속한다.

성막이 치밀하고, 두께를 비교적 정밀하게 컨트롤할 수 있어 반도체⋅디스플레이 산업에 광범위하게 사용된다. 

에이치앤이루자는 지난 2012년 삼성디스플레이 A2(5.5세대) 라인 양산 공급을 시작으로, A3(6세대) 라인과 중국 내 공급 사례를 늘려왔다.

BOE에는 앞서 투자된 B7과 B11에도 스퍼터를 공급했다. 또 다른 중국 내 디스플레이 회사인 CSOT⋅티안마⋅비전옥스 OLED 라인에도 스퍼터를 양산 공급했다. 지난 2018년 연간 매출은 1913억원, 2017년에는 2012억원씩을 기록했다. 

LG전자 소재생산기술원(PRI)은 박막봉지(TFE)용 이송설비를 수주했다. LG전자 PRI는 지난 2017년 티안마에 TFE용 잉크젯프린터를 양산공급하기도 했으나, 지난해와 올해 들어서는 수주 빈도가 크게 줄었다. TFE용 이송설비는 TFE 공정 안에서 기판 물류에 사용되는 설비다. 

LG전자 PRI는 TFE용 이송설비를 국내 장비사인 에스엔텍비엠에서 외주 생산해 공급해왔다. 

한양이엔지는 화학물질중앙공급장치(CCSS)를, 나래나노텍은 폴리이미드(PI) 코팅 장비를 각각 수주했다.

관심을 모았던 노광장비는 일본 캐논과 니콘이 물량을 나눠 수주했다. 시장조사업체 디스플레이서플라이체인컨설턴트(DSCC)에 따르면 지난해 대수 기준 노광장비 점유율은 캐논과 니콘이 58%대 42%씩을 기록했다. 

아래는 KIPOST가 지난 1월 말 이후 발표된 B12 장비 발주 결과를 정리한 것이다. T/A(Tender Awards)는 수주가 확정됐다는 뜻이고, E/R(Evaluation Result)는 성능평가 결과 1위를 기록했다는 의미다. E/R 1위는 2~3개월 시차를 두고 T/A로 변경된다.