중국 국가반도체산업펀트가 2대 주주

중국 검측장비 기업 징처(JINGCE)의 자회사인 상하이 프리시전메이저먼트(Precision Measurement)가 중국 메모리 반도체 기업 창장메모리(YMTC)에서 3대의 통합식 막두께 광학 핵심 인치 측량 장비를 수주했다. 

상하이 프리시전메이저먼트는 2018년 7월 설립됐으며 주로 반도체 검측 장비를 연구개발, 생산 및 판매하는 기업이다. 일부 디스플레이 및 신재생에너지 영역 검측 장비도 개발했다. 

자체 연구팀을 보유했으며 해외 M&A를 통해 반도체 검측 및 테스트, 공정 장비 기술의 국산화를 시도하고 있다. 

상하이 프리시전메이저먼트. /상하이 프리시전메이저먼트 제공

 

징처는 이미 디스플레이 검측 분야에서 중국 시장 지위를 확보하고 있으며 반도체 시장에서 경쟁력을 높이고 있다. 

상하이 프리시전메이저먼트가 지난 1년 여간 개발한 반도체 공정용 막두께 측량 및 광학 핵심 인치 측량 시스템은 통합형 막두께 측량기 EFILM 300IM, 통합 싱글 및 듀얼 모듈 막 두께 측량기 EFILM 300DS, 고성능 막두께 및 OCM 측량기 EPROFILE 300FD 등 시리즈가 있다. 최근 3대가 창장메모리의 통합식 막두께 광학 핵심 인치 측량 검측 장비에 낙찰되면서 의미있는 성과를 거뒀다. 

또 웨이퍼 시장에서 측량 장비 시장 강자인 KLA의 장기적인 독점 상황도 타파할 수 있을 것이라고 중국 언론은 기대했다. 

상하이 프리시전메이저먼트는 6번째 투자자를 공개하면서 상하이반도체장비재료산업펀드파트너기업과 국가반도체산업투자펀드유한회사 등 국가 펀드의 투자도 받았다고 공개했다. 국가반도체산업투자펀드는 상하이 프리시전메이저먼트 지분의 15.38%를 투자해 2대 주주로 올라있다. 

저작권자 © KIPOST(키포스트) 무단전재 및 재배포 금지