가상 IDM 건설을 목표로 하는 중국 기업이 ASML의 장비를 구매해 설치했다고 밝혔다. 

중국 즈광뎬치(智光电气)는 중국 캔세미(CanSemi)가 이미 ASML의 노광기 구매를 완료, 지난 3월 메인 공장에 반입해 조율 작업을 진행했다고 밝혔다. 오는 6월 시생산 이후 9월 양산 돌입 예정이다. 즈광뎬치는 캔세미 투자사다.

3월 15일 첫 노광장비 반입 이래 이미 100여 대의 장비 반입을 마치고 설치 및 조율 작업을 진행하고 있다.

캔세미는 중국 첫 ‘가상(Virtual) IDM’을 표방하며 12인치 반도체 공장을 광저우에 건설했다. 이 공장은 광저우 첫 12인치 공장이기도 하다. 가상 IDM이란 일종의 파운드리 사업으로서 설계, 제조, 패키징 3대 영역을 통합한 형태의 플랫폼을 의미한다. 파운드리와 팹리스의 가상적 협력을 통한 반도체 생태계를 조성, 생산능력을 비교적 합리적으로 이용하고 기술 개발 협력도 하는 관계라고 속개되고 있다. 공동체형 IDCM(Commune IDM, CIDM)이라고 불리기도 한다.  

캔세미는 지난해 10개월 간에 걸쳐 공장 건설을 진행한 데 이어 지난 3월 ASML의 노광장비를 들여 양산을 준비하고 있다. 완공 후 월 4만 장의 12인치 웨이퍼를 생산할 계획이다. 지난해 3월부터 건설작업을 본격화한 이후 10월 주 건물 건축을 마치고 전력과 제어 등 내부 설비 작업을 해왔다.

올해 하반기부터 일부 제품의 양산을 시작할 계획이다.

주로 마이크로프로세서, 아날로그 칩, 센서, 파워디스크리트기기(Power Discrete Device) 등 부품을 사물인터넷(IoT), 인공지능(AI), 5G 등 영역에 적용하기 위한 아날로그 칩 수요에 대응한다.

중국 언론은 삼성전자, TSMC와의 구매 전쟁 속에서 ASML의 장비 구매를 한 자체로 중국 기업의 경쟁력을 보여주는 것이라며 의미를 두고 있다.