첫 국산화 성과...외산 대체 기대

최근 중국에서 면적이 가장 큰 평면 몰리브뎃 타깃과 길이 최장의 고순도 구리 관 로테이팅 타깃(Copper tube rotating target) 재료가 신지(辛集)시에서 개발됐다. 두 소재 모두 신지시 소재 허베이(河北) 챔피언타깃테크놀로지(Champion Target Technology)가 자체 개발했다.

이번에 개발에 성공한 고순도 몰리브덴 평면 타깃은 길이 2300mm에 폭 1800mm다. 중국에서 처음으로 완전 국산화한 대면적 몰리브덴 타깃이다. 주로 디스플레이 산업에 적용된다. 몰리브덴 금속 제품 생산 사슬에서 가장 고급 상품으로 치인다. 기술과 생산 난이도가 높아 해외 소수 기업만 만들어 중국에선 수입해왔다.

 

챔피언타깃테크놀로지 로고. /챔피언타깃테크놀로지 제공
챔피언타깃테크놀로지 로고. /챔피언타깃테크놀로지 제공

 

동시에 개발한 고순도 구리 관 로테이팅 타깃의 경우 길이 3358mm로 역시 중국 처음으로 중국 내 최장 길이의 고순도 구리 관 로테이팅 타깃 재료다. 이 제품은 반도체, 대면적 고해상도 LCD TV 등의 박막 트랜지스터(TFT)에 쓰인다.

신지시가 중점적으로 육성하는 20개 산업 연구개발 시범 기지 중 하나로서 허베이 챔피언타깃테크놀로지는 2017년 12월 신지시경제개발구에 입주했다. 시의 외자 투자 유치와 중점적 지원을 받고 있는 하이테크 기업으로 꼽힌다.

이 회사는 주로 하이엔드 스퍼터링 타깃 재료와 코팅 재료의 연구개발, 생산과 판매, 서비스에 주력하고 있다.

연산 1680셋트의 고성능 마그네트론 스퍼터링 타깃 재료를 생산해 허베이성의 핵심 산업 기지로 꼽힌다.

 

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