인테그리스가 구뎅정밀산업과의 극자외선(EUV) 노광용 '레티클 포드' 특허 분쟁에서 승소했다.

대만 지적 재산권 재판소는 인테그리스의 '레티클 포드(Reticle Pod)’ 특허(등록번호: I-317917)를 침해한 구뎅정밀산업에게 3260만달러(약 363억원)에 달하는 손해배상과 관련 제품 회수 및 파기를 명령하는 판결을 내렸다고 25일 밝혔다.

레티클 포드는 노광 공정에서 마스크로 쓰는 레티클을 보관, 취급, 이송하는 장치다. 

인테그리스의 'EUV 1010 레티클 포드'는 마스크 결함을 개선하는 데 있어 혁신적인 제품으로 평가 받는다. 첨단 공정으로 대량 양산(HVM)을 개시하는 업체들은 이 제품을 통해 효율성 및 처리량을 높일 수 있다. 

이 제품은 ASML의 'NEX:3400B' 등 EUV 장비 제품군에도 활용될 예정으로, ASML의 인증을 처음으로 받았다.

이번 판결로 구뎅정밀산업은 인테그리스 ‘레티클 SMIF 포드(Reticle SMIF Pod)’ 및 관련 제품의 특허(등록번호: I-317967)인 ‘레티클, 포지셔닝 및 배치와 관련된 레티클 캐리어’를 침해하는 모든 제품에 대해서 직간접적 방법으로 제조, 영업, 판매, 활용 또는 수입하지 못한다.

특허를 침해하는 레티클 포드를 회수하고 파기해야한다.