중국 반도체 장비 국산화 첨병 역할

중국 나우라(NAURA) 장비로 만들어진 중국산 28nm 반도체 양산 가능성이 커졌다.

14일 베이징경제기술개발구 업무위원회 서기인 왕샤오펑(王少峰), 관리위원회 주임인 량성푸(梁胜赴)가 나우라에 대한 조사를 실시한 결과 주요 공정 장비가 이미 28nm 양산 수준에 이르렀다고 확인했다.

나우라는 중국에서 국가 차원의 다양한 반도체 장비 프로젝트를 진행하고 있다.

 

나우라의 반도체 장비 이미지. /나우라 제공
나우라의 반도체 장비 이미지. /나우라 제공

 

다양한 기술 개발 프로젝트를 기반으로 개발구 내에 공장을 지을 계획이며 28nm 이하 반도체 장비 공정 검증과 산업화, 5~7nm 첨단 공정 장비 검측 및 테스트 플랫폼 등을 동시다발적으로 구축하게 된다. 이 공장이 들어서면 연간 식각장비, PVD, 애닐러(annealer), 버티컬챔버오븐(vertical chamber oven), 워셔 등 장비를 연간 150대 이상 생산할 수 있는 역량을 갖게 된다.

왕 서기에 따르면 나우라는 중국 반도체 산업 장비 최대 제조 기업으로서 반도체 장비 국산화의 중책을 맡고 있다. 왕 서기는 나우라가 핵심 영역의 연구개발을 통해 기술 난제를 해결하고 베이징경제기술개발구에 하이엔드 경제 발전의 긍정적 작용을 할 것으로 기대했다.

량 주임은 기업의 연구개발 투자를 독려하며 적극적으로 핵심 프로젝트를 진행해 기술을 개발하고 외산 독점 상황을 타개해 주길 바란다고 부연했다.

나우라는 베이징세븐스타일렉트로닉스(Beijing Sevenstar Electronics)와 베이징 북방마이크로전자기지장비공정연구센터가 전략적으로 세운 기업이다. 최근 중국 반도체 하이엔드 공정 장비 선두 기업으로 꼽힌다. 반도체 장비, 진공 장비, 친환경 리튬이온 배터리 장비, 정밀 부품 등 4가지 사업군이 있으며 반도체, 신재생에너지, 신재료 영역의 솔루션을 제공하고 있다.

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