BOE가 중국 윈난성 쿤밍에 건설하고 있는 마이크로 유기발광다이오드(OLED) 라인 장비 공급사들의 윤곽이 드러나고 있다. 마이크로 OLED는 기존 OLED와 기술 방식은 유사하지만, 1인치 당 픽셀수(PPI)가 많으면서 디스플레이 사이즈는 작다. 따라서 장비 공급사 역시 면면이 사뭇 다르다.

17일 KIPOST가 집계한 바에 따르면 BOE는 지난 5월 16일부터 8월 13일까지 총 16건의 마이크로 OLED용 장비 공급사를 확정했다. 이번에 선정된 공급사들 중에는 기존 6세대(1500㎜ x 1850㎜) OLED 라인 협력사도 있지만, 처음 이름을 올린 회사들도 눈에 띈다.

▲마이크로 OLED 디스플레이. /프라운호퍼연구소 제공

6세대 OLED용 라인 핵심장비인 증착기(Evaporator)는 일본 캐논도키가 독식하고 있지만, 이번 마이크로 OLED용 라인에는 일본 조슈인더스트리가 공급사로 선정됐다.

1980년 창업한 조슈인더스트리는 원래 태양광용 웨이퍼 히터 등 태양광 장비를 전문으로 제조하던 곳이다. 연구개발(R&D)용 OLED 증착기를 공급하기 시작한 것도 최근 들어서다. 이번에 쿤밍 마이크로 OLED 라인에 장비를 공급하게 되면서 처음으로 파일럿 규모로 장비 수준을 업그레이드 했다.

이처럼 비교적 신생 업체가 파일럿 라인에 증착기를 공급할 수 있는 것은 마이크로 OLED가 박막트랜지스터(TFT)가 아닌 웨이퍼 위에 바로 유기물질을 증착하기 때문이다. 기존 6세대 OLED는 가로 1500㎜, 세로 1850㎜의 대형 기판을 절반으로 잘라 그 위에 유기물질을 증착한다.

그러나 마이크로 OLED는 지름 200㎜, 혹은 300㎜ 웨이퍼를 트랜지스터 삼아 그 위에 바로 증착한다. 디스플레이 크기가 1인치가 채 되지 않기 때문에 가능한 일이다. 기판 사이즈가 작다 보니 증착 난이도가 훨씬 낮다.

적색⋅청색⋅녹색(RGB) 유기물질을 가로로 배치하는 방식이 대신 수직으로 쌓아 올리는 화이트(W) OLED 방식이라는 점도 증착 난이도를 낮춘다. 마이크로 OLED가 사용되는 가상현실(VR)⋅증강현실(AR) 기기는 PPI가 2000을 넘어가는데, 이를 RGB 방식으로 만드는 것은 현재 기술로 불가능하다. RGB 방식 OLED의 PPI는 600 정도가 한계다.

따라서 복잡한 섀도마스크 공정을 생략하고, 유기물질을 수직으로 쌓아 올리면 마스크 인장⋅정렬 등을 증착장비에서 구현하지 않아도 된다.

한편, 이번 협력사들 중에는 국내 업체인 AP시스템도 이름을 올렸다. 플라즈마기상화학증착장비(PECVD) 두 건을 수주했다. 이는 웨이퍼 위에 트랜지스터를 형성하기 위한 장비, 혹은 봉지 공정용 장비일 것으로 추정된다.

그동안 OLED용 건식식각장비는 일본 도쿄일렉트론이나 국내 업체 아이씨디가 수주했으나, 이번에는 램리서치가 주인공이 됐다. 노광장비도 니콘⋅캐논이 아닌 반도체용 장비 업체인 ASML에 돌아갔다.

아래는 이달들어 BOE가 쿤밍 마이크로 OLED용으로 발주한 주요 장비 목록이다. ‘T/A’는 수주가 확정(Tender Awards)됐다는 뜻이다. ‘E/R’은 평가결과(Evaluation Result)를 1위로 통과했다는 의미다. E/R은 이변이 없는 한 1개월 정도 후 T/A로 확정된다.