[The Korea Industry Post (kipost.net)] 중국 BOE에 이어 10.5세대(2940mm X 3370mm) LCD 생산 라인 투자에 나선 차이나스타옵토일렉트로닉스(CSOT)가 장비 발주에 속도를 내고 있다. 


앞서 BOE와 마찬가지로 일본 샤프 10세대(2880mm X 3130mm)  라인 구축 당시 장비 공급 경험이 있는 미국⋅일본 업체들을 중심으로 수주에 성공하고 있다. 





20일 중국국제초표망에 따르면 CSOT는 최근 선전 10.5세대 LCD 라인(T6-1)에 입고될 각종 스퍼터 및 기상화학증착장비(CVD) 등을 발주했다(아래 표 참고). CSOT는 지난해 8월 약 8조원을 투자해 10.5세대 생산라인을 건설한다고 발표했다. 


생산 규모는 월 9만장 수준으로, 대량 양산은 2019년 7월이 목표다. CSOT는 T6 라인을 11세대로 명명했으나 이는 대외 선전용 문구다. 실상 규격은 BOE의 10.5세대와 동일하다.


당초 공급 부족이 극심한 10.5세대급 노광장비 탓에 CSOT의 투자 스케줄이 연기될 것으로 예상됐다. 그러나 CSOT는 니콘으로부터 8대 안팎의 노광장비를 인도 받기로 한 것으로 전해졌다. 


8대의 노광장비로는 월 9만장의 10.5세대 LCD를 만들기에 다소 부족하다. 통상 업계서는 월 9만장의 10.5세대 LCD 생산을 위해 11~12대(a-Si 기준)의 노광장비가 필요한 것으로 예상한다. 따라서 일단 CSOT는 6만장 규모를 우선적으로 투자한 뒤, 노광장비가 확보되는 대로 3만장을 추가 투자할 것으로 보인다.


만약 추가 3만장을 옥사이드(IGZO) LCD 라인으로 구축할 경우, 투자 시점은 좀 더 늦어질 수 있다. 옥사이드 LCD는 박막트랜지스터(TFT) 공정에서 노광 장비 소요 대수가 더 많다. 월 9만장의 옥사이드 LCD를 생산하는데 15~17대의 노광 장비가 필요한 것으로 추정된다.


아래는 올해 CSOT가 10.5세대 LCD용으로 발주한 주요 장비 목록이다.’T/A’는 수주가 확정(Tender Awards)됐다는 뜻이다. 

 

 

저작권자 © KIPOST(키포스트) 무단전재 및 재배포 금지