중국 디스플레이 기업 차이나스타(CSOT)가 네덜란드 레이저 증착 장비를 이용해 OLED에 ITO 전극을 심는다.

네덜란드 증착장비 업체 솔메이츠(Solmates)가 중국 CSOT에 1대의 소형 패널(200×200mm) 펄스 레이저 증착(PLD) 장비를 공급했으며 이 제품이 우한에 소재한 OLED 라인의 시생산에 사용될 예정이라고 밝혔다.

 

 

▲CSOT가 펄스 레이저 증착(PLD) 장비를 우한에 소재한 OLED 생산 라인에 도입한다. /CSOT 제공

 

 

 

솔메이츠는 펄스 레이저 증착을 통해 OLED ITO 전극을 심는 특허를 보유하고 있다. 동시에 실온에서의 대면적 ITO 증착 기술도 보유했다. 펄스 레이저 증착은 고품질의 ITO 증착을 가능케한다고 회사는 설명했다. 이전 적용 기술에 비해 투명도도 높였다. 솔메이츠의 장비는 지난해 말 우한의 자동화 장비 라인에 설치를 시작했으며 오는 6월 장비 공급을 완료한다. 최근까지 장비가 주로 연구개발에 적용됐으나 적용 기판 범위를 늘리면서 생산라인에 직접 적용된다는 데 회사도 의미를 두고 있다.

 

CSOT는 이 장비로 ITO 증착 공정을 진행하지만 무기박막 등 증착 단계에서는 플라즈마화학기상증착(PECVD)과 원자층증착(ALD) 기술을 적용할 수 있다.

 

CSOT는 TCL의 자회사로서 2015년 7월 우한의 6세대 저온폴리실리콘(LTPS) 공장을 착공했다. 이 공장에서는 LCD와 OLED 생산이 이뤄지며 총 26억 달러(약 2조9169억4000만 원)가 투자됐다. 레이저 펄스 증착법을 적용한 새로운 연구개발 생산 라인으로 OLED 공정을 개선하겠다는 계획을 갖고 있다.


 

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