파크시스템스, AFM 수주

중국 쿤밍에 마이크로 유기발광다이오드(OLED) 라인을 구축 중인 BOE가 장비 발주에 속도를 내고 있다. 마이크로 OLED는 1인치 안팎의 소형 OLED 패널로, 주로 증강현실(AR)이나 가상현실(VR) 기기용 디스플레이로 사용된다. 크기는 작지만 단위 면적당 픽셀 수(PPI)는 많아야 하기 때문에 일반 스마트폰용 OLED와는 구조가 약간 다르다.

마이크로 OLED. /코핀 홈페이지
마이크로 OLED. /코핀 홈페이지

21일 KIPOST 집계에 따르면 BOE는 지난 5월 16일부터 이달 20일까지 총 27건의 마이크로 OLED용 장비를 발주했다. 지난 8월 집계 이후 11건을 추가 발주한 것이다(KIPOST 2018년 8월 17일자 <BOE 쿤밍 마이크로 OLED 장비 협력사 뜯어보니> 참조).

이달 들어 새로 발주한 장비 중에는 국내 업체인 파크시스템스의 원자현미경(AFM)이 포함됐다. AFM은 캔틸레버(cantilever, 탐침)에 조사된 레이저 빛 변화를 이용해 시료를 측정하는 장비다. 캔틸레버가 시료에 가까워지면 서로 끌어당기거나 밀어내는 힘이 작용하는데, 이 때 캔틸레버에 조사된 레이저 빛의 반사 각도도 바뀐다. 이 성질을 이용하면 나노미터(nm) 크기까지 측정할 수 있다.

이외에 에어리퀴드가 지난 7월에 이어 특수가스공급장치를 두 번째 수주했다. 체코 테스칸은 듀얼 빔 장비를, 네덜란드 솔메이트는 스퍼터의 한 종류인 ‘로 데미지 스퍼터(Low damage sputter’를 수주했다.

한편, BOE의 마이크로 OLED 라인은 미국 실리콘밸리 웨어러블 기술 회사 코핀, 중국 마이크로 OLED 벤처기업인 올라이텍과의 조인트벤처 설립을 통해 진행되고 있다.

3개 회사가 그동안 개발해온 마이크로 OLED는 기존 스마트폰용 OLED와는 패터닝 방식이 약간 다르다. 스마트폰용 OLED가 박막트랜지스터(TFT) 위에 적색⋅녹색⋅청색 화소를 직접 패터닝하는데 비해, 마이크로 OLED는 색 구분 없이 모두 백색 OLED를 증착한다. 그리고 그 위해 컬러필터를 씌어 적색⋅녹색⋅청색을 제각각 구현한다.

마이크로 OLED의 수직 구조. 화이트 OLED 위에 컬러필터가 올라간다. /올라이텍 제공
마이크로 OLED의 수직 구조. 화이트 OLED 위에 컬러필터가 올라간다. /올라이텍 제공

이는 LG디스플레이가 TV용 OLED 패널에 적용하는 화이트 OLED(WOLED)와 구현 방식이 유사하다. 마이크로 OLED는 PPI 1000 이상으로 높아야 하는데, 섀도마스크 증착 방식으로는 이를 패터닝 할 수 없다. 이 때문에 전면 증착 후 화소 이외 부분을 식각해 깎아 내는 방식을 택한 것으로 보인다.

다만 이 같은 방식은 패터닝은 용이하지만, 전력소모 측면에서는 불리하다. 컬러필터 자체의 광변환 효율이 높지 않기 때문이다. 컬러필터는 백색광을 받아들여 특정 파장의 빛만 통과시키는 원리다. 나머지 파장의 빛은 자체적으로 흡수하는데, 이 때문에 컬러필터에서 잡아먹는 휘도(밝기)가 만만치 않다. 집 밖에서 장시간 사용하는 스마트폰에 비하면 AR⋅VR 기기 사용 장소는 실내라는 점에서 전력소모량에 관대하다는 점을 감안했을 수도 있다.

업계 관계자는 “마이크로 OLED 라인은 내년 상반기 안에 양산 가동하는 게 목표”라며 “연간 100만개의 마이크로 OLED 패널을 생산할 것”이라고 말했다.

BOE 쿤밍 마이크로 OLED 장비 발주 결과. /KIPOST
BOE 쿤밍 마이크로 OLED 장비 발주 결과. /KIPOST

 

저작권자 © KIPOST(키포스트) 무단전재 및 재배포 금지