중국 화훙그룹 산하의 반도체 파운드리 기업 '상하이 화리 마이크로일렉트로닉스 코퍼레이션,HIMC , Shanghai Huali Microelectronics Corporation)'가  12인치 생산라인에 첫 공정장비로서 광각장비를 반입했다. 


이번에 반입된 장비는 ASML의 ‘NXT 1980Di’ 광각장비로서 최근 중국 반도체 생산라인의 첨단 이머젼 광각장비로 꼽힌다.


이같은 HIMC의 광각장비 반입은 앞서 SMIC와 창장메모리 등의 장비 반입에 이은 것이란 점에서 눈길을 끈다. SMIC는 이미 1.2억 달러 규모의 첫 ASML 극자외선(EUV) 장비를 구매한 상황이며 창장메모리의 첫 광각장비 역시 이미 중국 내 공항까지 반입된 상태다.



▲HIMC가 광각장비를 반입하고 있다. /지웨이왕 제공



창장메모리의 장비는 ASML의 193nm 침윤성 광각장비로서 판매가가 7200만 달러이며 14~20nm 공정에 쓰인다.


HIMC의 12인치 생산라인 공장은 상하이 최대 규모의 반도체 산업 투자 프로젝트다. 총 투자액이 387억 위안(약 6조5615억8500만 원)에 이른다. 월 4만장 규모의 12인치 반도체 생산라인으로서 14~28nm 공정을 포괄하게 된다. 


이 공장은 2022년까지 양산을 실현하고 주로 로직 반도체 생산에 주력한다. 중국 설계기업을 위한 반도체 제조에 중점을 두모 일부 국가정보보안 관련 칩 제조 수요도 담당할 예정이다.



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