10조 원 투자...설비 비용만 8조 원

중국 상하이시가 2021년도 중점 프로젝트 계획을 공표하면서 SMIC의 12인치 공장 추진 내역이 공개됐다. 

8일 중국 언론 테크웹에 따르면 상하이시는 SMIC의 12인치 'SN1' 프로젝트가 중점 프로젝트라며, 건설이 진행되고 있는 상태라고 밝혔다. 

이 SN1 프로젝트는 SMIC 산하 중신난팡(中芯南方)이 추진하고 있으며, 총 90억5900만 달러(약 10조 482억 원)가 투입된다. 이중 생산설비 구매 및 구축비는 73억3000만 달러(약 8조1319억 원)다. 

 

SMIC 로고. /SMIC 제공 

 

월 3만5000장의 웨이퍼 생산을 목표로 설계된다. 

이 공장은 중국 내 첫 핀펫(FinFET) 공정 생산라인이된다. 또 SMIC의 14nm 이하 첨단 공정 연구개발 및 양산이 이뤄지며, 향후 7nm 공정 양산까지 이뤄지게 된다. 

앞서 량멍쑹 SMIC CEO는 SMIC의 28nm, 14nm, 12nm, N+1 등 공정이 모두 양산에 돌입했으며, 7nm 기술도 개발이 완료돼 올해 4월 위험 양산에 돌입한다고 밝힌 바 있다. 

5nm, 3nm 등 공정 역시 8가지 기술을 체계적으로 개발 중이며, 극자외선(EUV) 장비가 들어오면 개발이 본격화할 수 있을 것으로 봤다. 

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