ACM 리서치, '울트라 Fn 퍼니스'로 IGBT 합금 어닐링 지원
ACM 리서치, '울트라 Fn 퍼니스'로 IGBT 합금 어닐링 지원
  • 안석현 기자
  • 승인 2020.12.31 12:01
  • 댓글 0
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울트라 Fn 퍼니스. /사진=ACM리서치
울트라 Fn 퍼니스. /사진=ACM리서치

반도체 장비업체 ACM 리서치는 자사 ‘울트라 Fn 퍼니스(Ultra Fn Furnace)’가 전력반도체 제조공정에서 합금 어닐링 기능을 지원한다고 31일 밝혔다. 어닐링은 금속을 고온으로 가열해 결정크기를 고르게 만드는 기술이다. ALD(원자층증착)⋅CVD(기상화학증착)⋅PVD(물리증착) 등으로 성막한 후 어닐링을 통해 결정크기를 가다듬는다.

울트라 Fn 퍼니스는 불활성 가스와 환원성 가스 환경, 고진공 조건에서 어닐링 공정을 수행할 수 있다. 300㎜ 웨이퍼를 최대 100매까지 처리하도록 설계됐다. ACM 리서치는 이달 초 중국의 한 전력 반도체 제조사에 합금 어닐링 기능이 추가된 울트라 Fn 퍼니스를 공급한 바 있다.

시장조사업체 모도인텔리전스에 따르면 지난해 약 5억4000만달러(약 5800억원)였던 IGBT(절연게이트양극성트랜지스터) 시장은 연평균 9.66%의 성장률을 기록하며 2025년에 약 9억3800만달러까지 늘어날 것으로 예상된다. IGBT는 고전압 스위칭이 가능해 전기차⋅열차⋅가전 등에 폭넓게 사용되는 전력반도체의 한 종류다.

 


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