中 한스레이저, "리소그래피 장비 개발, 아직 초기 단계"
中 한스레이저, "리소그래피 장비 개발, 아직 초기 단계"
  • 유효정 기자
  • 승인 2020.09.16 15:41
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개별 소자와 LED 등에 적용...소량 판매 중
중국 반도체 산업 레이저 장비 기업이 자체 리소그래피 장비 개발 진척 상황을 공개했다.

중국 레이저 장비 기업 한스레이저(Hans Laser, 大族激光)가 15일 투자자 조사에 대한 정보를 제공하면서 "회사의 리소그래피 장비 개발 프로젝트는 아직 초기 단계에 있다"며 "해상도는 3~5㎛이며 주
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