中 터치스크린 기업 도입

중국 SVG옵트로닉스(SVG Optronics)가 대형 자외선 3D 다이렉트라이팅(Direct writing) 리소그래피 장비(lithography equipment) '아이그래퍼(iGrapher)3000'을 생산, 운영에 돌입했다고 밝혔다. 이 장비는 주로 대형 기판상 마이크로 구조 형상의 3D 리소그래피에 쓰인다. 신재료, 첨단 광전자 부품 설계, 연구개발 및 제조를 위해 적용되면서 광전자산업의 핵심 장비로 꼽힌다. 이 장비를 통해 산업간 협력 기회 역시 더욱 창출될 것으로 기대되고 있다. 

반도체 회로 패턴 구현을 위해 마이크로 구조 형상을 그리는 3D 리소그래피가 이뤄지는데 아이그래퍼3000이 이를 위한 수단이 되는 셈이다. 110인치폭 면의 2500mmx1500mm 기판 등에 적용할 수 있다. 

 

SVG옵트로닉스 제공
SVG옵트로닉스

 

이번에 이 장비가 적용된 기업은 아이브이터치(iVTouch)란 터치스크린 기업이다. 대형 투명 전도막의 깊은 홈 구조 마이크로 회로 모듈에 쓰이며 동시에 대면적 디스플레이 영상 형성, 또 플렉서블 전도 부품 및 홀로그램 디스플레이, 3D 이스플레이 연구개발 및 산업화에도 쓰일 수 있다. 

SVG옵트로닉스에 따르면 이 회사는 푸둥린 박사팀을 필두로 십여년 간 줄곧 3D 리소그래피 기술, 나노미터 리소그래피 하드웨어 및 소프트웨어, 데이터 처리 알고리즘 및 정밀 제어 기술 연구개발을 해왔다. 

이를 통해 3D 리소그래피 한계를 극복하고 아이그래퍼3000을 대표로 하는 3D 다이렉트라이팅 리소그래피 장비를 개발 및 응용할 수 있었다. 

IT즈자에 따르면 이 장비로 110인치 폭 유리기판상에 연속적으로 면형 마이크로 구조 대면적 부품을 형성할 수 있으며 심도 범위가 50nm~20㎛다. 또 대량 데이터 처리 기능 구축, 또 마이크로 나노 구조 형성도 가능하다. 

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