CMP 슬러리 및 포스트 CMP 세정 소재 연구개발에 집중

머크는 경기도 평택 송탄산업단지에 한국 첨단기술센터(K-ATeC, 앞쪽 흰색 건물)를 개소했다./머크

글로벌 소재 기업 머크는 경기도 평택 송탄산업단지에 한국 첨단기술센터(K-ATeC)를 개소했다고 30일 밝혔다.

K-ATeC에서는 화학적기계연마(CMP) 슬러리 및 CMP 공정 전 세정(Cleaning) 소재에 대한 연구개발(R&D)을 통해 국내 반도체 고객들을 지원하게 된다. 머크는 이를 위해 350억원 이상을 투자했다.

이 시설은 면적 3240㎡에 총 5층 건물로, ▲고객 평가를 위한 샘플링 랩 ▲CMP 소재 설계 및 분석을 위한 리서치 랩 ▲EBARA F-REX300X 300㎜ CMP 웨이퍼 연마 시스템 및 SP5 웨이퍼 결함 검사 장비 등 전문 설비가 갖춰진 클린룸으로 구성된다. 

머크 평택 사업장에는 새로이 개소한 첨단기술센터 외에도 차세대 CMP 소재에 대한 '베스트 인 클래스(특정 약종에서 최고 효능을 보유한)' 제조센터가 있다. 평택 사업장은 한국 내 고객 기반과 물리적으로 근접해 있어 지역 내 협업 및 지원을 제공할 수 있으며 상시 마케팅이 가능하다.

앞서 머크는 지난 1일 반도체 솔루션을 고객 중심의 새로운 조직으로 독립시켰다. 버슘머티리얼즈와 인터몰레큘러를 인수, 여러 웨이퍼 공정 단계 등 다방면에 걸친 포트폴리오를 제공할 수 있게 됐다. 머크 반도체 솔루션 사업은 스핀-온 유전체 소재, 유기실란, 유기금속, 후막 레지스트, 슬러리, 세정, 가스 등 소재뿐 아니라 배송 도구, 설비, 컨테이너 및 서비스와 같은 분야까지 모두 포함된다.

이와 함께 기능성소재 사업부는 인터몰레큘러 기술로 소재 혁신 가속화를 추구하고 있다. 고도화된 데이터 분석 및 실험 플랫폼은 연구자들에게 고품질의 종합적 지원을 제공하고, 고객들이 디바이스를 테스트한 다음 관련 결정을 내릴 수 있도록 돕는다. 

아난드 남비아 머크 기능성 소재 사업부 산하 반도체 소재 사업부문 글로벌 대표 및 수석부사장은 “한국은 머크에게 중요한 혁신 및 생산 허브"라며 "앞으로도 공급망을 확장하고 발전된 기술을 개발하기 위한 노력을 지속할 것이며, 동시에 경제발전 및 성장에 적극 기여하는 것은 물론, 우리 고객들과 상생의 파트너십을 다져나갈 것”이라고 말했다.

글렌 영 한국 머크 대표는 “머크는 30년 간 한국에서 활동해 왔고, 이 기간 동안 전자산업이 번영하는 모습을 목격했다"며 "머크는 전자 산업의 기술 발전을 위한 기초연구 육성에 깊은 관심을 가지고 있고, 머크의 역량 덕분에 우리는 앞으로 여러 세대에 걸쳐 반도체 산업 내 혁신을 가속화해 성과를 제공하기 위한 전략적인 위치에 자리하고 있다”고 강조했다.

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